[發(fā)明專利]大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710168384.8
• 申請(qǐng)日: 2007-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN101182113A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雷高清;蔣曉強(qiáng);李震宇;劉善佩;周志攀;龍勝亞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)飛光纖光纜有限公司
• 主分類號(hào): C03B37/018
• 分類號(hào): C03B37/018
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司
• 代理人: 胡建平

1.一種大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于

取外徑為36～46毫米、內(nèi)徑32～40毫米，襯管長(zhǎng)度1.45～1.85米的石英襯管，進(jìn)行PCVD加工；

加工工藝的參數(shù)為：

微波諧振腔的高頻功率控制在6KW～15KW，沉積溫度1080℃～1130℃，

流經(jīng)襯管管內(nèi)混合氣體的種類：四氯化硅蒸氣、四氯化鍺蒸氣、高純氧氣、氟里昂，

襯管的管內(nèi)壓力為10-15毫巴，管內(nèi)氣體流速為30-80米/秒，氣體體積流量為4400SCCM-8800SCCM。

2.按權(quán)利要求1所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于所述的混合氣體中四氯化硅與高純氧氣的比例為1∶3.0～4.0。

3.按權(quán)利要求1或2所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于襯管內(nèi)的沉積速率為2.5～4.5克/分。

4.按權(quán)利要求1或2所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于襯管內(nèi)單層沉積厚度為0.5～0.8微米。

5.按權(quán)利要求1或2所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于微波諧振腔的軸向移動(dòng)速度為15～30米/分。

6.按權(quán)利要求1所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于微波諧振腔沿襯管軸向從一端至另一端往復(fù)移動(dòng)，每移動(dòng)至襯管一端襯管旋轉(zhuǎn)70～110度。

7.按權(quán)利要求3所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于采用外徑為36毫米、內(nèi)徑32毫米、長(zhǎng)度1.55米的石英圓筒管作為沉積用襯管，經(jīng)過兩端延長(zhǎng)、清洗后安裝到沉積車床上開始沉積，沉積速率為2.72克/分鐘，SiCl₄+GeCl₄蒸氣體積流量1300SCCM，氧氣體積流量4290SCCM，C₂F₆氣體積流量150SCCM，總的氣體流量5740SCCM，氧氣和SiCl₄蒸氣體積流量比3.3∶1，沉積環(huán)境溫度1120℃，管內(nèi)壓力10毫巴，氣體流速58米/秒，高頻功率6100W。

8.按權(quán)利要求3所述的大直徑光纖芯棒的PCVD制作方法，其特征在于采用外徑為36毫米、內(nèi)徑32毫米、長(zhǎng)度1.55米的石英圓筒管作為沉積用襯管，經(jīng)過兩端延長(zhǎng)、清洗后安裝到沉積車床上開始沉積，沉積速率為3.02克/分鐘，SiCl₄+GeCl₄蒸氣體積流量1450SCCM，氧氣體積流量5075SCCM，C₂F₆氣體積流量200SCCM，總的氣體流量6725SCCM，氧氣和SiCl₄蒸氣體積流量比3.5∶1，沉積環(huán)境溫度1110℃，管內(nèi)壓力12毫巴，氣體流速52米/秒，高頻功率8000W。