[發(fā)明專利]一種多晶硅鑄錠爐無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710168125.5 | 申請(qǐng)日： | 2007-11-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101429677A | 公開（公告）日： | 2009-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李留臣;馮? | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 常州華盛天龍機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B29/06 | 分類號(hào)： | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 213200江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 | ||
1、一種多晶硅鑄錠爐，包括爐底2通過液壓提升缸20與爐筒6相連接 并通過支腿5、調(diào)整墊鐵4安裝在機(jī)座1上，爐蓋9安裝在爐筒6上， 爐底2上設(shè)置有觀察孔3，安裝著由滑座25、絲杠26、減速器27、電 機(jī)28、導(dǎo)向?qū)к?9等組成的下傳動(dòng)部件，滑座25通過連桿23與保溫 底板21連接，并通過波紋管24實(shí)現(xiàn)密封，滑座25移動(dòng)通過連桿23帶 動(dòng)保溫底板21移動(dòng)，使得保溫底板21與保溫罩15脫開滿足工藝需 要。爐底2內(nèi)裝有支撐柱22支撐導(dǎo)熱塊18，導(dǎo)熱塊18上面放置被加 熱的多晶硅料及坩堝系統(tǒng)16，多晶硅料及坩堝系統(tǒng)16通過加熱器17 進(jìn)行加熱，加熱器17的加熱能量通過水冷電纜11和電極8傳送，電極 8通過絕緣套14與爐蓋9連接；保溫罩15通過支腳19與爐筒6固 定，爐筒6又抽真空口7，爐蓋9上部安裝著觀察孔12和充氣孔13； 溫度傳感器10、30、31用來(lái)測(cè)量工藝溫度；液壓提升油缸20用來(lái)升 降爐底2，實(shí)現(xiàn)裝料、取料工作。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于滑座25移 動(dòng)通過連桿23帶動(dòng)保溫底板21移動(dòng)，使得保溫底板21與保溫罩15脫 開滿足工藝需要。
3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于爐底2 通過液壓提升油缸20實(shí)現(xiàn)升降；爐底2上設(shè)置有觀察孔3。
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