[發明專利]步進掃描投影光刻機同步控制器

有效

• 申請號: 200710165019.1
• 申請日: 2005-02-05
• 公開（公告）號: CN101149567A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 劉世元;陳勇輝;池蜂;周暢;韋學志
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H04L12/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 王敏杰

1.一種步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于：該同步控制器為步進掃描投影光刻機同步控制系統提供統一的時間基準，該步進掃描投影光刻機同步控制系統包括上位機、工控機CPU板、同步總線控制器、運動控制卡、激光計數卡以及對準控制系統、照明控制系統；

曝光控制軟件模塊位于所述的上位機；掃描控制軟件模塊位于所述的工控機CPU板；所述的工控機CPU板采用實時操作系統；所述的上位機與所述的工控機CPU板通過工業以太網互連；所述的工控機CPU板和所述的同步總線控制器、運動控制卡、激光計數卡之間采用VME總線連接在一起；所述的同步總線控制器、運動控制卡、激光計數卡之間采用同步總線進行數據交換；

2.根據權利要求1所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于：所述的運動控制卡和激光計數卡之間的數據交換以同步總線數據傳輸作為時間基準，所述的同步總線控制器通過同步總線的最小時間單元，控制數據傳輸的時間點。

3.根據權利要求1或2所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于：所述的同步總線控制器和所述的對準控制系統、照明控制系統之間采用485差分信號線進行連接。

4.根據權利要求1所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的上位機采用工作站或工控PC機，應用Unix或Windows操作系統。

5.根據權利要求1所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的工控機CPU板采用VxWorks或pSOS或RTLinux或WinCE實時操作系統。

6.根據權利要求1或2所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的同步總線控制器、運動控制卡、激光計數卡使用的核心芯片是FPGA芯片或DSP芯片。

7.據權利要求1或2所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的運動控制卡包括工件臺運動控制卡和掩膜臺運動控制卡。

8.據權利要求1或2所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的激光計數卡包括工件臺激光計數卡和掩膜臺激光計數卡。

9.據權利要求1或2所述的步進掃描投影光刻機同步控制器，其特征在于所述的同步總線控制器、運動控制卡、激光計數卡之間采用同步總線SDB進行數據交換。