[發明專利]藥液供給系統及藥液供給控制裝置

無效

• 申請號: 200710163300.1
• 申請日: 2007-10-19
• 公開（公告）號: CN101187446A
• 公開（公告）日: 2008-05-28
• 發明（設計）人: 加藤孝;鈴木伸彌
• 申請（專利權）人: CKD株式會社
• 主分類號: F17D1/14
• 分類號: F17D1/14;F17D3/01
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余朦;方挺

技術領域

本發明涉及使用通過泵室內的容積隨容積可變部件的位移而變化經由排出口排出從吸入口吸入的藥液的藥液供給泵來進行藥液供給的藥液供給系統及該系統內的藥液供給控制裝置。

背景技術

例如，在半導體制造工序中，使用藥液供給裝置以將光致抗蝕劑等藥液按預定量滴到半導體晶片上。具體地說，例如特開平10-54368號公報中所見那樣提出了一種裝置，包括對一對泵室進行分別劃分的容積可變部件(波紋管)、使各波紋管伸縮的電動機、和設置在一對泵的各排出口及吸入口的逆止閥。由此，當波紋管收縮時，吸入口側的逆止閥被機械地打開，藥液吸入到泵室內。一方面，當波紋管伸長時，排出口側的逆止閥被機械地打開，藥液從泵室排出到外部。然后，通過使一對波紋管交替地伸長和收縮，以使藥液連續排出。

發明內容

但是，上述藥液供給裝置當排出藥液側的泵室切換時有可能產生壓力的變動。就是說，由于逆止閥根據上游和下游間的壓力差進行開閉，因而在排出口側的逆止閥打開時，藥液的排出壓力具有比逆止閥的下游側的壓力更高的傾向。因此，在一對泵室的排出口彼此的合流部將發生壓力的變動，甚至有可能使藥液的流量產生脈動。

而且，不只是上述裝置，對于使用泵室內的容積隨容積可變部件的位移而變化通過排出口排出從吸入口吸入的藥液的藥液供給泵的裝置，藥液排出或吸入時藥液的狀態發生變動的問題已成為共通的問題。

本發明是為解決上述問題而提出的，其目的在于提供藥液供給系統及藥液供給裝置，使用泵室內的容積隨容積可變部件的位移而變化通過排出口排出從吸入口吸入的藥液的藥液供給泵，可以在藥液排出或吸入時適當地控制藥液狀態的變動。

第一方面記載的發明是一種藥液供給系統，其特征在于，包括：藥液供給泵，泵室內的容積隨容積可變部件的位移而變化通過排出口排出從吸入口吸入的藥液；開閉裝置，對所述排出口及吸入口的至少一個進行電開閉；壓力施加裝置，通過所述容積可變部件向所述泵室內施加壓力；檢測裝置，檢測所述容積可變部件的位移量；以及反饋裝置，在所述至少一個口打開前對通過所述壓力施加裝置向所述泵室內施加的壓力進行操作，以在所述至少一個口打開時對所述檢測裝置檢測的變動量進行反饋控制。

在上述構成中，在上述至少一個口打開時容積可變部件變動的情況下，開閉裝置的上游側及下游側的壓力產生差，考慮到隨著打開在上游側及下游側之間產生了藥液的急速流動。然后，可以通過操作開閉裝置打開前的泵室內的壓力來進行反饋控制該變動量。由此，在反饋控制得到反映時，可以將變動量控制在期望值，而且可以適當地抑制開閉裝置打開時的藥液狀態的變動。

第二方面記載的發明，是在第一方面記載的發明中，上述反饋裝置將上述變動量的目標值設為零。

考慮到如果開閉裝置打開時容積可變部件的位置狀態不變動，則藥液處于穩定的狀態。這點，在上述構成中，通過將變動量的目標值設為零，可以適當地抑制容積可變部件隨開閉裝置打開的變動，而且，可以適當地抑制或者避免藥液狀態的變動。

第三方面記載的發明，是在第一方面或第二方面記載的發明中，上述開閉裝置對上述排出口進行電開閉，上述反饋裝置當上述排出口打開時對由上述檢測裝置檢測的變動量進行反饋控制。

在上述構成中，由于通過反饋控制可以限制排出口打開時容積可變部件的變動量，從而可以在穩定的狀態下供給藥液。

第四方面記載的發明，是在第三方面記載的發明中，包括多個上述藥液供給泵，該多個藥液供給泵的排出口連接到共同的藥液供給口，而且使藥液的吸入期間和排出期間在多個藥液供給泵間重復，以通過上述藥液供給口將藥液連續向外部供給。

在上述構成中，通過使排出期間和吸入期間在多個藥液供給泵間重復以連續向外部供給藥液。此時，可以通過對各供給泵的排出口打開時容積可變部件的位置狀態的變動量進行反饋控制來限制藥液的變動。因此，可以在穩定的狀態下連續供給藥液。特別是，通過上述反饋控制來限制藥液的變動，還可以使經由藥液供給口供給的藥液流量高精度和恒定。

此外，在將多個藥液供給泵設為2個的情況下，優選地，從這些藥液供給泵交替地排出藥液。

第五方面記載的發明，是在第三方面或第四方面記載的發明中，包括限制裝置，當通過上述容積可變部件的位移使上述泵室內的容積擴大來吸入藥液時，對上述容積可變部件的位移量進行限制以使上述泵室內的容積為最大值以下。