[發(fā)明專(zhuān)利]結(jié)晶裝置以及結(jié)晶方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710163150.4
• 申請(qǐng)日: 2007-10-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101312117A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秋田典孝;高見(jiàn)芳夫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/02;H01L21/268;H01L21/20;H01L21/336;B23K26/00;B23K26/06
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種結(jié)晶裝置，其特征在于包括：

紫外光照射系統(tǒng)，將紫外光區(qū)的激光束脈沖照射到被處理基板上；以及

可見(jiàn)光照射系統(tǒng)，對(duì)被處理基板上的與所述紫外光區(qū)的激光束的照射區(qū)域相同的照射區(qū)域，連續(xù)照射可見(jiàn)光激光束；并且，

所述可見(jiàn)光照射系統(tǒng)具有二維陣列排列的多個(gè)可見(jiàn)光激光束源，

在因均勻照射所述紫外光區(qū)的激光束而熔化的區(qū)域中，利用可見(jiàn)光激光束的光強(qiáng)度分布來(lái)形成晶體成長(zhǎng)，所述可見(jiàn)光激光束的光強(qiáng)度分布是重疊從所述多個(gè)可見(jiàn)光激光束源發(fā)出的多道可見(jiàn)光激光束而形成的。

2.如權(quán)利要求1所述的結(jié)晶裝置，其特征在于：

所述紫外光照射系統(tǒng)包括準(zhǔn)分子激光束源、以及紫外光照明光學(xué)系統(tǒng)，此紫外光照明光學(xué)系統(tǒng)將從所述準(zhǔn)分子激光束源發(fā)出的準(zhǔn)分子激光束均勻地照射到基板上，

所述可見(jiàn)光激光束源是固體激光器或半導(dǎo)體激光器，

所述可見(jiàn)光照射系統(tǒng)包括光強(qiáng)度分布形成裝置、以及成像光學(xué)系統(tǒng)，所述光強(qiáng)度分布形成裝置使從所述各可見(jiàn)光激光束源發(fā)出的多道可見(jiàn)光激光束的光強(qiáng)度分布圖案化，所述成像光學(xué)系統(tǒng)使經(jīng)所述光強(qiáng)度分布形成裝置圖案化的光強(qiáng)度分布的光，成像在被處理基板上的所述照射區(qū)域中，并且，

將所述多個(gè)固體激光器或半導(dǎo)體激光器發(fā)出的各可見(jiàn)激光束，重疊到符合所述被處理基板與光軸上的成像位置關(guān)系的光強(qiáng)度分布形成裝置中。

3.如權(quán)利要求2所述的結(jié)晶裝置，其特征在于：

在所述可見(jiàn)光照射系統(tǒng)中，在多個(gè)可見(jiàn)光激光束源與光強(qiáng)度分布形成裝置之間具備均束器。

4.如權(quán)利要求3所述的結(jié)晶裝置，其特征在于：

所述均束器具備多個(gè)透鏡，所述多個(gè)透鏡與多個(gè)可見(jiàn)光激光束源一一對(duì)應(yīng)。

5.一種結(jié)晶方法，其特征在于：

對(duì)被處理基板上的非晶硅膜均勻地脈沖照射紫外光區(qū)的激光束，使所述非晶硅膜熔化，

將從多個(gè)可見(jiàn)光激光束源發(fā)出的多道可見(jiàn)光激光束重疊到光強(qiáng)度分布形成裝置中，

借由所述光強(qiáng)度分布形成裝置來(lái)使重疊的可見(jiàn)光激光束的光強(qiáng)度分布圖案化，

將所述經(jīng)圖案化的可見(jiàn)光激光束重疊地照射到所述熔化的液化硅區(qū)域上，由此形成晶體成長(zhǎng)。