[發(fā)明專利]等離子體頭結(jié)構(gòu)及具有該結(jié)構(gòu)的等離子體放電裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710162695.3
• 申請(qǐng)日: 2007-10-16
• 公開（公告）號(hào): CN101415293A
• 公開（公告）日: 2009-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡陳德;陳志瑋;張加強(qiáng);許文通;楊德輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): H05H1/28
• 分類號(hào): H05H1/28
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周國(guó)城

1.一種等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，包含：

一外電極，其具有一腔室；

一內(nèi)電極，設(shè)置于該外電極的腔室內(nèi)；

一導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該內(nèi)電極內(nèi)，其具有至少一輸入端以及至少一輸出端，該輸入端是用以輸入工作流體，該輸出端連通該外電極的腔室；通過(guò)該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)導(dǎo)引工作流體進(jìn)入該內(nèi)電極內(nèi)部，再由該輸出端將工作流體輸出至該外電極的腔室，

其中，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)包含：

一腔室，設(shè)置于該內(nèi)電極內(nèi)部；

一導(dǎo)流組件，設(shè)置于該內(nèi)電極的腔室內(nèi)，其包括：

一本體，其內(nèi)部具有一通道，該通道具有至少一輸入端以及至少一輸出端，該輸入端供工作流體進(jìn)入該本體，該輸出端供工作流體流出該本體；

至少一引流道，設(shè)置于該本體外周緣，該引流道的一端連通該本體內(nèi)部的通道的一端，該引流道的另一端連通該外電極的腔室。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，該引流道是多數(shù)凹槽，該多數(shù)凹槽相互平行且環(huán)繞設(shè)置于該本體外周緣，且該多數(shù)凹槽的底端與該本體的通道的輸出端相連通。

3.如權(quán)利要求1所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，該引流道呈螺旋狀。

4.如權(quán)利要求1所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，該本體的通道包含：

至少一縱向通道，縱向延伸一定長(zhǎng)度，其頂端供工作流體進(jìn)入；

至少一橫向通道，橫向貫穿該本體側(cè)壁，該橫向通道設(shè)置于該縱向通道的底端且與該縱向通道的底端連通；且該橫向通道與該引流道的一端連通。

5.如權(quán)利要求1所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

一輸送管件，其具有一輸入端用以輸入工作流體，該輸送管件設(shè)置于該外電極及該內(nèi)電極上方，且該輸送管件與該本體內(nèi)部的通道連通；

一絕緣層，設(shè)置于該外電極的內(nèi)側(cè)壁，該絕緣層與該內(nèi)電極之間具有一定距離而形成一通路，該通路與該外電極的腔室連通。

6.如權(quán)利要求5所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，該導(dǎo)流組件與該輸送管件一體成型。

7.如權(quán)利要求1所述的等離子體頭結(jié)構(gòu)，其特征在于，該工作流體為干燥空氣、氧氣、氮?dú)狻⒑狻⑼轭悺⑾╊悺⑷差悮怏w。

8.一種等離子體放電裝置，其特征在于，包含：

一電源供應(yīng)器，用以供應(yīng)電源，其具有兩電極端；

一等離子體頭結(jié)構(gòu)，其包括：

一外電極，其具有一腔室；

一內(nèi)電極，設(shè)置于該外電極的腔室內(nèi)；

一導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，設(shè)置于該內(nèi)電極內(nèi)，其具有至少一輸入端以及至少一輸出端，該輸入端用以輸入工作流體，該輸出端連通該外電極的腔室；通過(guò)該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)導(dǎo)引工作流體進(jìn)入該內(nèi)電極內(nèi)部，再由該輸出端將工作流體輸出至該外電極的腔室，

其中，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)包含：

一腔室，設(shè)置于該內(nèi)電極內(nèi)部；

一導(dǎo)流組件，設(shè)置于該內(nèi)電極的腔室內(nèi)，其包括：

一本體，其內(nèi)部具有一通道，該通道具有至少一輸入端以及至少一輸出端，該輸入端供工作流體進(jìn)入該本體，該輸出端供工作流體流出該本體；

至少一引流道，設(shè)置于該本體外周緣，該引流道的一端連通該本體內(nèi)部的通道的一端，該引流道的另一端連通該外電極的腔室。

9.如權(quán)利要求8所述的等離子體放電裝置，其特征在于，該引流道是多數(shù)凹槽，該多數(shù)凹槽相互平行且環(huán)繞設(shè)置于該本體外周緣，且該多數(shù)凹槽的底端與該本體的通道的輸出端相連通。

10.如權(quán)利要求8所述的等離子體放電裝置，其特征在于，該引流道呈螺旋狀。

11.如權(quán)利要求8所述的等離子體放電裝置，其特征在于，該本體的通道包含：

至少一縱向通道，縱向延伸一定長(zhǎng)度，其頂端供工作流體進(jìn)入；

至少一橫向通道，橫向貫穿該本體側(cè)壁，該橫向通道設(shè)置于該縱向通道的底端且與該縱向通道的底端連通；且該橫向通道與該引流道的一端連通。

12.如權(quán)利要求8所述的等離子體放電裝置，其特征在于，更包括：

一輸送管件，其具有一輸入端用以輸入工作流體，該輸送管件設(shè)置于該外電極及該內(nèi)電極上方，且該輸送管件與該本體內(nèi)部的通道連通；

一絕緣層，設(shè)置于該外電極的內(nèi)側(cè)壁，該絕緣層與該內(nèi)電極之間具有一定距離而形成一通路，該通路與該外電極的腔室連通。