[發(fā)明專利]一種鋁合金表面處理方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710156874.6 | 申請日： | 2007-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN101161857A | 公開（公告）日： | 2008-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 杜平凡;徐敏;席珍強;姚劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江理工大學(xué) |
| 主分類號： | C23C16/34 | 分類號： | C23C16/34;C23C16/52;C23C16/02 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310018浙江省杭州市江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鋁合金 表面 處理 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種鋁合金表面處理方法，其特征在于：先對鋁合金表面拋光，清洗，然后采用有機溶劑，酒精超聲清洗后，在普通鋁合金基底上采用PECVD法沉積一層氮化硅薄膜，沉積過程采用的參數(shù)，溫度為100～500℃，射頻功率為20～150W，沉積時間為5～60min，SiH4/NH3流量比為4∶1～1∶30。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁合金表面處理方法，其特征在于：所沉積氮化硅薄膜厚度隨沉積參數(shù)的變化而變化，從而在鋁合金表面顯示出不同的顏色。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
