[發(fā)明專利]一種氮化硅彩虹玻璃及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710156483.4
• 申請日: 2007-11-01
• 公開（公告）號: CN101182129A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發(fā)明（設計）人: 席珍強;徐敏;杜平凡;姚劍
• 申請（專利權）人: 浙江理工大學
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1.一種氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：在普通平板玻璃基底(1)一個表面或二個表面上鍍有一層氮化硅薄膜(2)。

2.根據權利要求1所述的一種氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：所述的鍍氮化硅膜呈相間的彩虹條紋。

3.一種氮化硅彩虹玻璃的制備方法，其特征在于該方法的步驟如下：

把普通平板玻璃放入到70℃鉻酸鉀、濃硫酸和水，質量比為6∶8∶27的混合溶液中，浸泡10～60min，再用去離子沖洗，然后用0.5％HF酸浸漬10s，最后再用去離子水沖洗干凈，烘干；其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室平臺(3)上，另外一片玻璃平放在旁邊，在沉積過程中，PECVD的各種參數設置為：溫度100～500℃，射頻功率20～150W，SiH₄/NH₃流量比：1∶1～1∶30，沉積時間25～60min，沉積完畢后，垂直放置玻璃基底雙面都形成了相間的彩虹條紋圖案，水平放置的玻璃基底為單面的相間的彩虹條紋圖案。

4.根據權利要求3所述的一種氮化硅彩虹玻璃的鍍膜方法，其特征在于：在沉積薄膜時，根據玻璃基片放置角度為0～90°，能沉積出不同寬度的彩色相間條紋，拓寬了氮化硅彩虹玻璃的應用范圍。