[發明專利]動態量傳感器

有效

• 申請號: 200710154798.5
• 申請日: 2007-09-19
• 公開（公告）號: CN101149389A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 勝間田卓
• 申請（專利權）人: 株式會社電裝
• 主分類號: G01P9/04
• 分類號: G01P9/04;G01P3/44;G01P3/50;G01C19/56
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 王永建

1.一種動態量傳感器(S1)，包括：

基底(200)；

由具有角部分(101)的矩形板制成的傳感芯片(100)，所述傳感芯片(100)包括：

具有可移動部分(3a、4a)的檢測器(3、4)，當一動態量施加于其上的時候，所述可移動部分可以進行位移，其中，所述檢測器(3、4)根據所述可移動部分(3a、4a)的位移并基于電容變化來檢測所述動態量，以及

多個焊盤(50、51、52、53、54)；以及

凸塊(400)，用于使所述傳感芯片(100)的所述多個焊盤(50、51、52、53、54)與所述基底(200)電連接和機械連接，其中，

所述傳感芯片(100)的所述角部分(101)從所述基底(200)釋放，使得所述傳感芯片(100)的所述多個焊盤(50、51、52、53、54)布置在距所述傳感芯片(100)的所述角部分(101)預定距離的一個位置上。

2.根據權利要求1所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述多個焊盤(50、51、52、53、54)的至少一個布置在所述傳感芯片(100)的大體中心位置，使得所述傳感芯片(100)的所述大體中心位置通過所述凸塊(400)與所述基底(200)相連。

3.根據權利要求1或2所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述傳感芯片(100)具有一檢測區域，所述檢測器(3、4)布置在該檢測區域中，并且

所述多個焊盤(50、51、52、53、54)的至少一個布置在所述傳感芯片(100)的所述檢測區域中。

4.根據權利要求3所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述檢測器(3、4)進一步具有與所述可移動部分(3a、4a)相對的固定部分(3b、4b)，

所述檢測器(3、4)基于所述可移動部分(3a、4a)和所述固定部分(3b、4b)之間的電容變化來檢測所述動態量，并且

布置在所述傳感芯片(100)的所述檢測區域中的所述焊盤(50、51、52、53、54)布置在所述傳感芯片(100)的一固定部分區域中，所述固定部分(3b、4b)布置在該固定部分區域中。

5.根據權利要求4所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述可移動部分(3a、4a)在第一方向(X)上被驅動來振動，

當一角速度施加給所述可移動部分(3a、4a)的時候，所述可移動部分(3a、4a)由于在大體垂直于所述第一方向(X)的第二方向(Y)上所產生的科里奧利力而被檢測來振動，

布置在所述傳感芯片的所述固定部分區域中的所述焊盤是所述多個焊盤之一，并且

所述多個焊盤布置在所述第一方向或所述第二方向上。

6.根據權利要求1或2所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述多個焊盤(50、51、52、53、54)布置成十字交叉形，以所述傳感芯片(100)的大體中點作為所述十字交叉形的交點。

7.根據權利要求6所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述十字交叉形從所述交點向著所述傳感芯片(100)的邊的每個大體中點延伸。

8.根據權利要求1或2所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述檢測器(3、4)由第一檢測器(3)和第二檢測器(4)構成，它們相對于將所述傳感芯片(100)分成兩個相等部分的一條線(L1)彼此對稱，并且

所述多個焊盤(51、54)布置在所述線(L1)上。

9.根據權利要求8所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述可移動部分(3a、4a)在第一方向(X)上被驅動來振動，

當一角速度施加給所述可移動部分(3a、4a)的時候，所述可移動部分(3a、4a)由于在大體垂直于所述第一方向(X)的第二方向(Y)上所產生的科里奧利力而被檢測來振動，

布置在所述線(L1)上的所述多個焊盤(51、54)布置在所述第二方向(Y)上。

10.根據權利要求1或2所述的動態量傳感器(S1)，其特征在于，

所述多個焊盤的一部分是虛設焊盤(54)。