[發(fā)明專利]加速度傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710152427.3
• 申請日: 2007-10-11
• 公開（公告）號: CN101162237A
• 公開（公告）日: 2008-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 西澤竜太;田中雅子
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P15/09;G01P15/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種加速度傳感器，該加速度傳感器是由固定于基座上的基部和從上述基部延伸出來并以預定的諧振頻率在平面方向上彎曲振動的梁狀的振動臂構成的振動體，其特征在于，

上述振動臂具有：在寬度方向中央部被在厚度方向且在長度方向上開設的貫通開口剖分的振動臂部；連接被剖分的上述振動臂部的前端部的附加質量部；以及設置在上述振動臂部上的勵磁裝置，

上述振動臂由上述基部和上述附加質量部以偽雙端固定結構或者單端固定結構支撐，

該加速度傳感器檢測當被施加加速度時的由上述附加質量部的慣性效果帶來的上述振動體的諧振頻率變化。

2.根據(jù)權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，

該加速度傳感器設置有兩組由上述基部、上述振動臂和上述附加質量部構成的振動體，

將兩組上述附加質量部作為共用附加質量部，將兩組上述振動體以相對于上述共用附加質量部的重心位置成點對稱的方式呈直線狀連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述振動臂部在寬度方向上相對于上述振動臂的中心軸對稱地彎曲形成，當對上述振動臂的軸向施加加速度時，檢測由于上述附加質量部的慣性效果而使與垂直于上述振動臂部軸向的面相平行的截面形狀發(fā)生變化所導致的諧振頻率變化。

4.根據(jù)權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述附加質量部具有與上述基部同等大小的質量，

上述振動臂由上述基部和上述附加質量部以偽雙端固定結構支撐，上述振動臂進行高次彎曲振動。

5.根據(jù)權利要求3或4所述的加速度傳感器，其特征在于，

該加速度傳感器設置有兩組由上述基部、上述振動臂和上述附加質量部構成的振動體，

將兩組上述附加質量部作為共用附加質量部，將兩組上述振動體以相對于上述共用附加質量部的重心位置成點對稱的方式呈直線狀連接。

6.一種加速度傳感器，該加速度傳感器是由如下部分構成的振動體：固定于基座上的基部；從上述基部平行地延伸出來并以預定的諧振頻率在平面方向上彎曲振動的梁狀的多個振動臂；以及附加質量部，其在前端部上連接多個上述振動臂，與上述基部具有同等或者更大質量，

該加速度傳感器具有：分別在多個上述振動臂上，在寬度方向中央部在厚度方向且在長度方向上開設的至少一個貫通開口；以及勵磁裝置，其設置在多個上述振動臂的兩側側面和上述貫通開口的內側側面中的至少包含通過振動而產生的變形較大的位置的范圍內，

該加速度傳感器檢測被施加加速度時由上述附加質量部的慣性效果帶來的上述振動體的諧振頻率變化。

7.根據(jù)權利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述貫通開口設置在上述基部與多個上述振動臂相連接的連接部附近以及上述附加質量部與多個上述振動臂相連接的連接部附近。

8.根據(jù)權利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述貫通開口開設在下述位置：上述基部與多個上述振動臂相連接的連接部附近；上述附加質量部與多個上述振動臂相連接的連接部附近；以及多個上述振動臂的長度方向中央部上。

9.根據(jù)權利要求6所述的加速度傳感器，其特征在于，

該加速度傳感器設置有兩組由上述基部、上述振動臂和上述附加質量部構成的振動體，

將兩組上述附加質量部作為共用附加質量部，將兩組上述振動體以相對于上述共用附加質量部的重心位置成點對稱的方式呈直線狀連接。

10.根據(jù)權利要求1至9中任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述振動體由石英構成。

11.根據(jù)權利要求1至9中任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，

上述振動體由恒彈性材料構成，在上述振動臂的側面形成有壓電元件膜。