[發明專利]研磨液組合物有效
| 申請號： | 200710149086.4 | 申請日： | 2007-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN101139446A | 公開（公告）日： | 2008-03-12 |
| 發明（設計）人： | 鈴木真彥;本間祐一;山脅有希子 | 申請（專利權）人： | 花王株式會社 |
| 主分類號： | C08J5/14 | 分類號： | C08J5/14;C08L33/08 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳建全 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 | ||
1.一種研磨液組合物，其含有共聚物以及研磨材料，所述共聚物具有下述式(I)表示的結構單元、和選自下述式(II)-(IV)表示的結構單元中的至少一種結構單元，
所述式(I)中，R1是氫原子或者甲基，R2是碳原子數為1-4的烷基，AO是碳原子數為1-8的氧化烯基，p是0或1，n是AO的總平均加成摩爾數，且是6-300的數，(AO)n中的氧化乙烯基所占的比例是80摩爾％以上，
所述式(II)中，R3是氫原子或者甲基，X是氧原子或者NH基，R4是碳原子數為4-30的烷基或者碳原子數為6-30的芳基，
所述式(III)中，R5是氫原子或者甲基，R6是氫原子或者碳原子數為1-3的烷基，AO是碳原子數為2-4的氧化烯基，m是AO的總平均加成摩爾數且是3-150的數，(AO)m中的氧化丙烯基和氧化丁烯基所占的比例是80摩爾％以上，
所述式(IV)中，R7是氫原子或者甲基，R8是氫原子或者碳原子數為1-30的烷基。
2.根據權利要求1記載的研磨液組合物，其中所述式(II)中，X是氧原子。
3.根據權利要求1或2記載的研磨液組合物，其中所述式(II)中，R4是碳原子數為4-30的烷基。
4.根據權利要求1-3中任何一項記載的研磨液組合物，其中所述共聚物中的式(I)表示的結構單元與式(II)-(IV)表示的結構單元的重量比，即式(I)表示的結構單元的重量/式(II)-(IV)表示的結構單元的總重量為25/75-97.5/2.5。
5.根據權利要求1-4中任何一項記載的研磨液組合物，其中所述共聚物的重均分子量為5000-50萬。
6.根據權利要求1-5中任何一項記載的研磨液組合物，其中所述研磨材料是氧化鋁。
7.一種基板的制造方法，其包括使用權利要求1-6中任何一項記載的研磨液組合物對被研磨基板進行研磨的工序。
8.根據權利要求7記載的基板的制造方法，其中所述基板是硬盤用基板。
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