[發明專利]研磨墊及其制造方法有效
| 申請號： | 200710148747.1 | 申請日： | 2002-10-03 |
| 公開（公告）號： | CN101143428A | 公開（公告）日： | 2008-03-19 |
| 發明（設計）人： | 下村哲生;中森雅彥;山田孝敏;增井敬志;駒井茂;小野浩一;小川一幸;數野淳;木村毅;瀨柳博 | 申請（專利權）人： | 東洋橡膠工業株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24D3/20;B24D13/00;B24D18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王海川;樊衛民 |
| 地址： | 日本大阪*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種以含有有機多異氰酸酯、多元醇和固化劑的聚氨酯為主要構成材料的研磨墊，其中所述固化劑的主成分為4，4’-亞甲基雙(鄰氯苯胺)，所述多元醇包含數均分子量為500～1600、分子量分布(重均分子量/數均分子量)小于1.9的聚丁二醇。
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