[發明專利]用以感測化學物質的微型傳感器

無效

• 申請號: 200710147392.4
• 申請日: 2007-09-07
• 公開（公告）號: CN101382479A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 黃榮山;李世光;李世元;吳光鐘;顏毅廣
• 申請（專利權）人: 黃榮山
• 主分類號: G01N13/10
• 分類號: G01N13/10;G01N33/48
• 代理公司: 上海虹橋正瀚律師事務所
• 代理人: 李佳銘

1、一種用以感測一化學物質的微型傳感器，其特征在于，所述微型傳感器包含：

一基板；

一微懸臂梁，所述微懸臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化學物質的一捕捉面；

一電極結構，所述電極結構用以提供一電場，所述電場設置成輔助所述捕捉面捕捉所述化學物質；以及

一測量組件，所述測量組件耦接至所述微懸臂梁，所述測量組件用以測量由被捕捉的所述化學物質引發所述微懸臂梁的一機械性質的一變化量，并且將所述變化量轉譯成與所述化學物質相關的一信息。

2、如權利要求1所述的微型傳感器，其特征在于：所述電場是一直流電場，所述直流電場輔助所述捕捉面捕捉所述化學物質。

3、如權利要求2所述的微型傳感器，其特征在于：所述電場進一步是一交流電場，并且所述交流電場輔助所述化學物質由所述捕捉面脫離。

4、如權利要求1所述的微型傳感器，其特征在于，進一步包含：

一殼體，所述殼體包含一反應腔，所述微懸臂梁安置在所述反應腔內，包含所述化學物質的一流體流進所述反應腔中。

5、如權利要求4所述的微型傳感器，其特征在于：所述殼體是選自由一玻璃、一高分子及一半導體材料所組成的一群組中的其中一個所制成。

6、如權利要求5所述的微型傳感器，其特征在于：所述殼體由聚二甲基硅氧烷制成。

7、如權利要求4所述的微型傳感器，其特征在于：所述電極結構包含形成于所述微懸臂梁的所述捕捉面上的一第一電極以及形成于所述基板上的一第二電極。

8、如權利要求7所述的微型傳感器，其特征在于：所述第一電極由金制成，并且所述第二電極由鎳制成。

9、如權利要求7所述的微型傳感器，其特征在于：所述電極結構進一步包含形成于所述殼體的一上表面上的一第三電極。

10、如權利要求9所述的微型傳感器，其特征在于：所述第三電極是一透明電極。

11、如權利要求1所述的微型傳感器，其特征在于：所述微懸臂梁的一部分摻雜以形成一壓阻組件，所述壓阻組件及所述測量組件的至少一電阻構成一電橋，所述測量組件借助所述電橋測量所述微懸臂梁的所述機械性質的所述變化量。

12、如權利要求1所述的微型傳感器，其特征在于：所述基板由硅所制成。

13、如權利要求12所述的微型傳感器，其特征在于：所述微懸臂梁由氮化硅或二氧化硅所制成。

14、如權利要求13所述的微型傳感器，其特征在于：所述微懸臂梁呈現V字型。

15、如權利要求1所述的微型傳感器，其特征在于：所述化學物質是選自由一金屬、一高分子、一生物化學分子及一微生物化學結構所組成的一群組中的其中一個。