[發明專利]溫度受控體的溫度控制方法及其裝置和高低溫處理系統

有效

• 申請號: 200710147100.7
• 申請日: 2007-09-14
• 公開（公告）號: CN101149627A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 八田政隆;河野芳尚;有山智一;保坂和樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G05D23/10
• 分類號: G05D23/10;H01L21/66
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

1.一種溫度受控體的溫度控制裝置，其特征在于：

通過控制溫度用液體和溫度受控體之間的熱交換控制所述溫度受控體的溫度，

所述溫度受控體的溫度控制裝置具備：

加壓裝置，對所述控制溫度用液體實施加壓使其沸點上升；

加熱裝置，加熱所述控制溫度用液體使其溫度上升至在常壓下的沸點以上的溫度；

熱交換裝置，使溫度上升至所述控制溫度用液體在常壓下的沸點以上的該控制溫度用液體與所述溫度受控體之間進行熱交換。

2.一種高低溫處理系統，其特征在于：

在處理部中在高溫領域或者低溫領域對被處理體實施規定的處理時，通過用一種冷卻液在所述處理部中循環使所述冷卻液與所述被處理體之間進行熱交換，從而控制所述被處理體的溫度，

所述高低溫處理系統具備：

加壓·加熱裝置，使所述冷卻液的沸點上升且對沸點上升后的所述冷卻液加熱并使其在所述處理部中循環；和

冷卻裝置，使所述冷卻液冷卻并使其在所述處理部中循環；

當在所述高溫領域對所述被處理體進行處理時使用所述加壓·加熱裝置，當在所述低溫領域對所述被處理體進行處理時使用所述冷卻裝置。

3.如權利要求2所述的高低溫處理系統，其特征在于：

所述的加壓·加熱裝置具有：存儲所述冷卻液的容器；對所述容器內加壓的加壓裝置；配置在從所述容器到所述處理部的循環通路上且對所述冷卻液加熱的加熱裝置。

4.如權利要求3所述的高低溫處理系統，其特征在于：

所述加壓·加熱裝置具有：配置在從所述處理部到所述容器的所述循環通路上且對所述冷卻液進行冷卻的冷卻裝置。

5.如權利要求3或4所述的高低溫處理系統，其特征在于：

所述加壓裝置是通過配管向所述容器內供給加壓氣體的氣體供給源。

6.如權利要求5所述的高低溫處理系統，其特征在于：

在所述配管上設置有所述加壓氣體的壓力控制裝置。

7.如權利要求6所述的高低溫處理系統，其特征在于：

對所述加壓氣體的壓力進行檢測的壓力檢測裝置設置在所述配管上的所述壓力控制裝置的上游側。

8.如權力要求3～7的任意一項所述的高低溫處理系統，其特征在于：

所述容器具有：檢測所述容器內的壓力的第二壓力檢測裝置、和將所述容器內的壓力維持在規定的設定值的安全閥。

9.如權力要求2～8的任意一項所述的高低溫處理系統，其特征在于：

所述循環通路在所述處理部的出入口側分別分支為向所述冷卻裝置側的通路和向所述加壓·加熱裝置側的通路，在各個分支路上設置有相互進行相反動作的第一、第二開關閥，在所述處理部的入口側的各分支路的第一開關閥分別是以將流入口和流出口逆向的方式配置的。

10.如權力要求2～9的任意一項所述的高低溫處理系統，其特征在于：

在所述處理部的入口側的循環通路上設置有溫度檢測裝置以及第三壓力檢測裝置。

11.一種溫度受控體的溫度控制方法，其特征在于：

通過控制溫度用液體和溫度受控體之間的熱交換控制所述溫度受控體的溫度，

具有：

對所述控制溫度用液體實施加壓使其沸點上升的工序；

使所述控制溫度用液體的溫度上升至其在常壓下的沸點以上的溫度的工序；

使溫度上升至在常壓下的沸點以上的溫度后的所述控制溫度用液體與所述溫度受控體之間發生熱交換的工序。

12.如權力要求11所述的溫度受控體的溫度控制方法，其特征在于：

給存儲所述控制溫度用液體的容器內供給加壓氣體對所述控制溫度用液體加壓。

13.如權力要求11或12所述的溫度受控體的溫度控制方法，其特征在于：

在對所述溫度受控體實施規定處理的處理部中進行所述熱交換。

14.如權力要求12或13所述的溫度受控體的溫度控制方法，其特征在于：

使所述控制溫度用液體在所述容器和所述處理部之間循環。