[發明專利]熱式質量流量計

有效

• 申請號: 200710146836.2
• 申請日: 2007-08-24
• 公開（公告）號: CN101165462A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: 長谷部臣哉
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01F1/86
• 分類號: G01F1/86
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種熱式質量流量計，其具有測定部和計算部，

所述測定部由如下部分構成，即：加熱器芯片，其配置在內部有流體流動的配管的周面上，用于加熱配管內的流體；和溫度傳感器芯片對，其在所述配管的周面上，相對于配管在與所述加熱器芯片同側，沿著配管內的流體的流動方向配置在所述加熱器芯片的上游側和下游側的等距離的位置上，所述溫度傳感器芯片對由結構與所述加熱器芯片不同的芯片類型的溫度傳感器芯片構成，

所述計算部根據所述溫度傳感器芯片對的溫度差求出在該配管中流動的流體的流量，

所述熱式質量流量計的特征在于，

所述溫度傳感器芯片，其表面被模制樹脂覆蓋，具有從所述模制樹脂的下面側向側方延伸的輸入輸出端子，在所述溫度傳感器芯片的下面側粘結固定有所述配管。

2.如權利要求1所述的熱式質量流量計，其中，

所述加熱器芯片，其表面被模制樹脂覆蓋，具有從所述模制樹脂的下面側向側方延伸的輸入輸出端子，在所述加熱器芯片的下面側粘結固定有所述配管。

3.如權利要求1或2所述的熱式質量流量計，其中，

所述測定部，具有獨立于所述溫度傳感器芯片對來測定所述測定部的周圍溫度用的測溫元件，

所述計算部具有修正部，所述修正部基于由所述測溫元件測定的周圍溫度對所述溫度傳感器芯片對的溫度差進行修正，根據在所述修正部獲得的修正后的所述溫度傳感器芯片對的溫度差求出在所述配管中流動的流體的流量。

4.如權利要求1～3的任一項所述的熱式質量流量計，其中，

所述測定部具有基板，所述基板形成有用于嵌入所述加熱器芯片及溫度傳感器芯片的槽，

所述加熱器芯片及溫度傳感器芯片從上面側嵌入所述基板的所述槽，所述配管在與所述加熱器芯片及溫度傳感器芯片的下面接觸了的狀態下，通過熱傳導性粘結劑粘結固定在所述加熱器芯片及溫度傳感器芯片的下面，

并且所述配管通過粘結劑粘結固定在所述基板上。