[發(fā)明專利]激光光源裝置及具備其的投影機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710141805.8
• 申請日: 2007-08-10
• 公開（公告）號: CN101123341A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 小松朗;矢野邦彥
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;G02F1/35
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 陳海紅;段承恩

技術領域

本發(fā)明，涉及射出激光的激光光源裝置，及具備有該激光光源裝置的投影機。

背景技術

近年來，在光通信，光應用測定，光顯示等的光電子領域中，廣泛使用對半導體激光光源的激發(fā)(oscillation)光進行波長變換而采用的激光光源裝置。作為如此的激光光源裝置，已知如下二次諧波光發(fā)生裝置，該裝置：具備在單端面形成鏡體結構及在其對向面形成無反射結構的半導體激光光源，和在其光激發(fā)面形成鏡體結構及在其對向面形成無反射結構的非線性光學構件；并以激光光源裝置和非線性光學構件的鏡體結構間形成諧振器結構，可以發(fā)生綠光、藍光(例如，參照專利文獻1)。

并且，為了使波長幅度窄的激光束穩(wěn)定而進行供給，提出了如下外部諧振型激光器，該激光器：具備射出預定的波長的激光的半導體激光激發(fā)器，和使從激光激發(fā)器所射出的激光進行諧振的外部諧振器；在外部諧振器內具備光聚合物體積全息圖，光聚合物體積全息圖使從激光激發(fā)器所射出的激光發(fā)生衍射而入射于諧振器內的光學系統(tǒng)，并使預定的波長的激光選擇性地進行透射而射出于外部(例如，參照專利文獻2)。

【專利文獻1】特許第3300429號公報

【專利文獻2】特開2001-284718號公報

但是，如記載于專利文獻1的現有的二次諧波光發(fā)生裝置，因為不使激光窄頻帶化，所以存在如下問題：由于溫度變化而半導體激光光源的激發(fā)波長發(fā)生變動，或者相對于波長變換元件(與前述非線性光學構件相同)的變換波長的允許幅度，從光源所激發(fā)的激光的激發(fā)波長幅度寬，不能進行波長變換的波段的光多，變換效率低。

另一方面，用于記載于專利文獻2的外部諧振型激光器中的光聚合物體積全息圖，例如，為在樹脂中層狀地形成多個折射率不同的干涉圖形，使激發(fā)波長的激光窄頻帶化而進行反射的元件，可謂能夠簡單地構成外部諧振型激光器，為高價的元件。由此，有制造成本升高的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明，鑒于如此的情況所作出，目的在于提供能良好地射出激光，并能低成本化及小型化的激光光源裝置，及具備有該激光光源裝置的投影機。

本發(fā)明中的激光光源裝置，具備：激發(fā)預定的波長的激光的激光光源，對從前述激光光源所射出的激光進行反射而形成諧振器的鏡體，和配設于前述激光光源與前述鏡體之間、對從前述激光光源所射出的激發(fā)波長的激光進行變換而射出變換波長的激光的波長變換元件；其特征在于：前述鏡體，包括形成于前述波長變換元件的射出側的表面的、具有對前述激發(fā)波長的激光進行反射而使前述變換波長的激光進行透射的特性的電介質多層膜；在前述波長變換元件的入射側的表面，形成有至少在前述激發(fā)波長附近具有帶通特性的帶通濾波器多層膜。

若依照于該構成，則在形成于波長變換元件的帶通濾波器多層膜中從激光光源所射出的激光的激發(fā)波長可窄頻帶化為半值幅度1nm以下。由此，波長變換元件中的波長變換的變換效率提高，并且即使由于使用環(huán)境的溫度變化等而在激光光源的激發(fā)波長中發(fā)生了變動，也能夠總是使一定波長的激光，從激光光源裝置射出。

并且，因為鏡體具有對激發(fā)波長的激光進行反射，并使變換波長的激光進行透射的特性，所以能夠一邊將激光光源的激發(fā)光封閉在諧振器的內部，一邊高效地取出通過波長變換元件進行了波長變換的激光。進而，通過將帶通濾波器多層膜及鏡體，形成于波長變換元件的入射側的表面及射出側的表面，可得到減少了構成部件個數、并且低成本化及小型化了的激光光源裝置。

并且，本發(fā)明中的激光光源裝置，具備：激發(fā)預定的波長的激光的激光光源，對從前述激光光源所射出的激光進行反射而形成諧振器的鏡體，和配設于前述激光光源與前述鏡體之間、對從前述激光光源所射出的激發(fā)波長的激光進行變換而射出變換波長的激光的波長變換元件；其特征在于：在前述激光光源與前述波長變換元件之間，還具備形成有至少在前述激發(fā)波長附近具有帶通特性的帶通濾波器多層膜的帶通濾波器；前述鏡體，包括形成于前述波長變換元件的射出側的表面的、具有對前述激發(fā)波長的激光進行反射并使前述變換波長的激光進行透射的特性的電介質多層膜。

若依照于該構成，則因為在激發(fā)預定的波長的激光的激光光源，和在射出側的表面形成有包括具有對激發(fā)波長的激光進行反射并使變換波長的激光進行透射的特性的電介質多層膜的鏡體、對從激光光源所射出的激光的激發(fā)波長進行變換而射出變換波長的激光的波長變換元件之間，具備形成有在前述激發(fā)波長附近具有帶通特性的帶通濾波器多層膜的帶通濾波器，所以可以對波長變換元件和帶通濾波器獨立地進行各種特性的調整，能夠期待激發(fā)效率及成品率的提高。