[發明專利]衍射光柵元件及其制造方法和設計方法

有效

• 申請號: 200710141704.0
• 申請日: 2004-01-27
• 公開（公告）號: CN101114032A
• 公開（公告）日: 2008-01-30
• 發明（設計）人: 鹽崎學;茂原政一
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 許海蘭

1.一種衍射光柵元件，其特征在于具有：

基板；

設置在上述基板上的第1反射抑制部；

設置在上述第1反射抑制部上的衍射光柵部；和

設置在上述衍射光柵部上的第2反射抑制部，

上述第2反射抑制部與第1介質相接，

在上述衍射光柵部上通過在平行于上述基板的預定方向上交互設置第2介質和第3介質而設置有衍射光柵，

在1.2μm～1.675μm的波長區域存在反射率達到10％以下的波長。

2.根據權利要求1所述的衍射光柵元件，其特征在于：

當設順序地排列上述基板、上述第1反射抑制部、上述衍射光柵部以及上述第2反射抑制部的方向為z方向，上述預定方向為x方向，折射率分布為n(x，z)，上述衍射光柵的周期為Λ，平均折射率n_av(z)為

$n_{\mathrm{av}}\left(z\right)=\sqrt{\frac{{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}{n}^2(x,z)\mathrm{dx}}{\mathrm{\Λ}}}$

，折射率調制Δn(z)為

$\mathrm{\Δn}\left(z\right)=\sqrt{\frac{\mathrm{\Λ}{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}\{n^2(x,z)-n_{\mathrm{av}}^2\left(z\right){\}}^2\mathrm{dx}}{\{{\∫}_0^{\mathrm{\Λ}}n(x,z)\mathrm{dx}{\}}^2}}$

，自z方向的位置z1到位置z2的衍射能力P(z1，z2)為

$P(z1,z2)={\∫}_{z1}^{z2}\mathrm{\Δn}\left(z\right)\mathrm{dz}$

時，

上述衍射光柵部的衍射能力大于上述衍射光柵部、上述第1反射抑制部以及上述第2反射抑制部的整體的衍射能力的50％。