[發(fā)明專利]有機(jī)金屬化合物

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710141350.X
• 申請日: 2007-07-31
• 公開（公告）號: CN101182339A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·V·舍奈－卡特克哈特;Q·M·王
• 申請（專利權(quán)）人: 羅門哈斯電子材料有限公司
• 主分類號: C07F19/00
• 分類號: C07F19/00;C07F9/50;C23C16/18
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 沙永生

1.一種有機(jī)金屬化合物，具有以下通式：

(EDG-(CR¹R²)_y-N＝)_nM^+mL¹_x′L²_x″L³_p，式中，R¹和R²獨(dú)立地選自H、(C₁-C₆)烷基和EDG；EDG是給電子基團(tuán)；M＝金屬；L¹＝陰離子型配體；L²是選自氨基、烷基氨基、二烷基氨基和烷氧基烷基二烷基氨基的配體；L³＝中性配體；y＝0-6；m＝M的價數(shù)；n＝1-2；x’≥0；x”≥0；m＝2n+x’+x”；p＝0-3；其中，當(dāng)m＝2-3時n＝1，當(dāng)m≥4時n＝1-2；L¹≠L²；條件是當(dāng)m≥3且EDG＝氨基、烷基氨基、二烷基氨基、吡啶基或烷氧基時，x’≥1。

2.如權(quán)利要求1所述的化合物，其特征在于，L¹選自氫負(fù)離子、鹵素負(fù)離子、疊氮根、烷基、烯基、炔基、羰基、二烷基氨基烷基、亞氨基、酰肼基、磷基、亞硝酰基、硝酰基、硝酸根、腈、烷氧基、二烷基氨基烷氧基、甲硅烷氧基、二酮酸根、酮亞胺根、環(huán)戊二烯基、甲硅烷基、吡唑根、胍根、膦胍根、脒根和膦脒根。

3.如權(quán)利要求所述的化合物，其特征在于，EDG包含氧、磷、硫、氮、烯、炔和芳基中的一個或多個。

4.如權(quán)利要求1所述的化合物，其特征在于，M選自第2族至第16族的金屬。

5.一種組合物，包含權(quán)利要求1所述的化合物和有機(jī)溶劑。

6.一種沉積膜的方法，該方法包括以下步驟：

在氣相沉積反應(yīng)器中提供基板；

將權(quán)利要求1所述的有機(jī)金屬化合物作為前體以氣態(tài)形式輸送到所述反應(yīng)器；

在基板上沉積包含所述金屬的膜。

7.一種沉積薄膜的方法，該方法包括以下步驟：

在反應(yīng)器中提供基板；

采用直接液體注射將權(quán)利要求5所述的組合物輸送到反應(yīng)器；

在基板上沉積包含所述金屬的膜。

8.一種沉積薄膜的方法，該方法包括以下步驟：

在氣相沉積反應(yīng)器中提供基板；

將權(quán)利要求1所述的有機(jī)金屬化合物作為第一前體以氣態(tài)形式輸送到所述反應(yīng)器；

將所述第一前體化合物化學(xué)吸附到所述基板的表面上；

從所述反應(yīng)器中除去任何未被化學(xué)吸附的第一前體化合物；

將第二前體以氣態(tài)形式輸送到該反應(yīng)器；

使所述第一前體和第二前體反應(yīng)，在基板上形成膜；

除去任何未反應(yīng)的第二前體。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述第二前體選自氧氣、臭氧、水、過氧化物、醇類、一氧化二氮和氨。

10.一種輸送裝置，用來將前體以蒸氣相輸送到包含權(quán)利要求1所述的化合物的氣相沉積反應(yīng)中。