[發(fā)明專利]液晶顯示裝置及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710141193.2 | 申請日： | 2004-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN101118359A | 公開（公告）日： | 2008-02-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 川崎清弘 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣輝電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1362 | 分類號： | G02F1/1362;G02F1/133;H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77;H01L21/027;G03F7/00 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 韓宏 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 液晶 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
1、一種液晶顯示裝置，是將液晶充填于在一個(gè)主表面上至少具有絕緣柵極型晶體管，兼作上述絕緣柵極型晶體管的柵極電極的掃描線，和也兼作源極布線的信號線，和被連接到漏極布線上的像素電極的單位像素被配列成二維的矩陣的第一透明性絕緣基板，和與上述第一透明性絕緣基板相對的第二透明性絕緣性基板或者彩色濾光板之間而所構(gòu)成的液晶顯示裝置，其特征為：
至少在第一透明性絕緣基板的一個(gè)主表面上形成有由一層以上的第一金屬層所構(gòu)成，其側(cè)面上具有絕緣層的掃描線和相對電極，
在上述相對電極上形成有絕緣層，
在柵極電極上，掃描線和信號線的交叉點(diǎn)附近上，相對電極和信號線的交叉點(diǎn)附近上，和相對電極和像素電極的交叉點(diǎn)附近上形成有柵極絕緣層和不含有雜質(zhì)的第一半導(dǎo)體層，
在柵極電極上的第一半導(dǎo)體層上形成有將成為絕緣柵極型晶體管的源極、漏極的一對含有雜質(zhì)的第二半導(dǎo)體層，
在掃描線和信號線的交叉點(diǎn)上，相對電極和信號線的交叉點(diǎn)上，和相對電極和像素電極的交叉點(diǎn)上的第一半導(dǎo)體層上，形成有含有雜質(zhì)的第二半導(dǎo)體層，
在將成為源極、漏極的一對第二半導(dǎo)體層和第一透明性絕緣基板上形成有由包含有耐熱金屬層的一層以上的可陽極氧化的第二金屬層所構(gòu)成的作為信號線的源極布線、作為像素電極的漏極布線；在圖像顯示部分外的區(qū)域中，由信號線的一部分所構(gòu)成的信號線的電極端子；和包含掃描線的一部分的掃描線的電極端子，
除上述電極端子上之外，在源極、漏極布線的表面上形成有陽極氧化層，
在上述源極、漏極布線間，和除掃描線和信號線的交叉點(diǎn)外的掃描線和信號線的交叉點(diǎn)附近上，除相對電極和信號線的交叉點(diǎn)外的相對電極和信號線的交叉點(diǎn)附近上，和除相對電極和像素電極的交叉點(diǎn)外的相對電極和像素電極的交叉點(diǎn)附近上的第一半導(dǎo)體層上，形成有氧化硅層。
2、如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置，其中，形成在掃描線的側(cè)面的絕緣層為有機(jī)絕緣層。
3、如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置，其中，第一金屬層是由可陽極氧化的金屬層所構(gòu)成，形成在掃描線的側(cè)面的絕緣層為陽極氧化層。
4、一種液晶顯示裝置的制造方法，是將液晶充填于在一個(gè)主表面上至少具有絕緣柵極型晶體管，兼作上述絕緣柵極型晶體管的柵極電極的掃描線，和也兼作源極布線的信號線，和被連接到漏極布線上的像素電極的單位像素被配列成二維矩陣的第一透明性絕緣基板，和與上述第一透明性絕緣基板相對的第二透明性絕緣性基板或者彩色濾光板之間而所構(gòu)成的液晶顯示裝置，其特征為：具有
至少在第一透明性絕緣基板的一個(gè)主表面上，依次覆蓋一層以上的第一金屬層，一層以上的柵極絕緣層，不含雜質(zhì)的第一非晶硅層和含有雜質(zhì)的第二非晶硅層的工序；
形成對應(yīng)于掃描線且柵極電極上的膜厚比其他區(qū)域的膜厚還厚的感光性樹脂圖案的工序；
將上述感光性樹脂圖案當(dāng)作掩膜，而依序蝕刻第二非晶硅層和第一非晶硅層和柵極絕緣層和第一金屬層的工序；
減少上述感光性樹脂圖案的膜厚而露出掃描線上的第二非晶硅層的工序；
在柵極電極上選擇性殘留第二非晶硅層和第一非晶硅層而露出掃描線上的柵極絕緣層的工序；
除去上述被減少膜厚的感光性樹脂圖案后，在掃描線的側(cè)面上形成絕緣層的工序；
在圖像顯示部分外的區(qū)域中，在掃描線的電極端子形成區(qū)域上的柵極絕緣層上形成開口部分而露出掃描線的一部分的工序；
覆蓋一層以上的第二金屬層后，使可成為與柵極電極一部分重疊地選擇性形成源極、漏極布線，和在圖像顯示部分外的區(qū)域中由信號線的一部分所構(gòu)成的信號線的電極端子，和包含上述開口部分的掃描線的電極端子的工序；
在第一透明性絕緣基板上和上述漏極布線的一部分上形成透明導(dǎo)電性的像素電極，和在上述掃描線和信號線的電極端子上形成透明導(dǎo)電性的電極端子的工序；和
將上述透明導(dǎo)電性的像素電極和透明導(dǎo)電性的電極端子的選擇性圖案形成所使用的感光性樹脂圖案當(dāng)作掩膜，一面保護(hù)像素電極和電極端子，一面陽極氧化源極、漏極布線和源極、漏極布線間的非晶硅層的工序。
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