[發明專利]彎曲波導管及其制造方法、光傳遞模塊和熱輔助磁記錄頭

有效

• 申請號: 200710140113.1
• 申請日: 2007-08-02
• 公開（公告）號: CN101174416A
• 公開（公告）日: 2008-05-07
• 發明（設計）人: 趙恩亨;徐成東;孫鎮昇
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G11B5/127
• 分類號: G11B5/127;G02B6/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭鴻禧;安宇宏

1.一種彎曲波導管，包括：

核，具有輸入端和輸出端，其中，至少輸出端具有近場增強孔結構；

金屬包層，被布置成包圍所述核，

其中，所述核被彎曲為曲形，所述曲形的曲率半徑是透射光的強度相對于入射光的波長為最大時的諧振半徑。

2.根據權利要求1所述的彎曲波導管，其中，所述核的輸出端具有C形孔結構，其中，金屬包層的一部分朝向C形孔結構的中央部分突起而形成隆起部分。

3.根據權利要求2所述的彎曲波導管，其中，所述核在其長度方向上始終具有C形截面。

4.根據權利要求3所述的彎曲波導管，其中，隆起部分的寬度從輸入端到輸出端逐漸減小。

5.根據權利要求1所述的彎曲波導管，其中，在所述核的長度方向上，所述核的截面面積始終相同。

6.根據權利要求1所述的彎曲波導管，其中，所述核的輸入端的截面面積與所述核的輸出端的截面面積不同。

7.根據權利要求6所述的彎曲波導管，其中，所述核的截面面積從輸入端到輸出端逐漸減小。

8.根據權利要求7所述的彎曲波導管，其中，所述核的截面的厚度不變，并且所述核的截面的寬度從輸入端到輸出端逐漸減小。

9.根據權利要求1所述的彎曲波導管，其中，所述核被彎曲為圓的曲形，所述圓的曲形具有輸入端和輸出端之間的角度θ，其中，0＜θ＜180°。

10.根據權利要求1所述的彎曲波導管，其中，所述核被彎曲為曲形，其中，由多于一個的曲率半徑限定所述曲形。

11.根據權利要求10所述的彎曲波導管，其中，每個所述曲率半徑與諧振半徑相對應。

12.一種制造彎曲波導管的方法，所述方法包括：

通過將金屬沉積在基底上來形成下包層；

將形成為具有預定曲率半徑的曲形的核層沉積到下包層上，其中，核層的輸出端的寬度和厚度等于或小于入射光的波長，其中，核層的曲率半徑被確定為使得透射光的強度相對于入射光的波長為最大；

通過將金屬沉積到核層上來形成上包層。

13.根據權利要求12所述的方法，其中，沉積下包層的步驟包括：將金屬沉積在基底上，并且通過蝕刻沉積的金屬的一部分來形成隆起部分。

14.根據權利要求12所述的方法，其中，沉積下包層的步驟包括：

將樹脂沉積在下包層上；

將圖案轉印到樹脂上；

通過將紫外光線發射到樹脂上來固化所述圖案的敞開區域；

從沒有被固化的區域移除樹脂。

15.一種光傳遞模塊，包括：

第一波導管，其包括：

核，具有輸入端和輸出端，其中，輸出端具有近場增強孔結構；

金屬包層，包圍所述核，

其中，第一波導管是彎曲波導管，其中，所述核被彎曲為曲形，所述曲形的曲率半徑是透射光的強度相對于入射光的波長為最大時的諧振半徑。

16.根據權利要求15所述的光傳遞模塊，還包括：

第二波導管，將光透射到第一波導管。

17.根據權利要求16所述的光傳遞模塊，其中，第一波導管和第二波導管被對接耦合。

18.根據權利要求15所述的光傳遞模塊，其中，第一波導管的所述核的輸出端具有C形孔結構，其中，金屬包層的一部分朝向C形孔結構的中央部分突起而形成隆起部分。

19.根據權利要求18所述的光傳遞模塊，其中，第一波導管的所述核在其長度方向上始終具有C形截面。

20.根據權利要求19所述的光傳遞模塊，其中，隆起部分的寬度從輸入端到輸出端逐漸減小。

21.根據權利要求16所述的光傳遞模塊，其中，第一波導管的所述核的截面面積從輸入端到輸出端逐漸減小。

22.根據權利要求15所述的光傳遞模塊，其中，第一波導管的所述核被彎曲為圓的曲形，所述圓的曲形具有輸入端和輸出端之間的角度θ，其中，0＜θ＜180°。