[發(fā)明專利]慣性傳感器及慣性傳感器的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710137909.1
• 申請(qǐng)日: 2007-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN101135561A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松久和弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 索尼株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01C19/56
• 分類號(hào): G01C19/56;G01P9/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 馬高平

1.一種慣性傳感器，其包括：

彈性支承體，其一端側(cè)被設(shè)置于襯底的支承部支承；

振動(dòng)件，其以從上述襯底分離的狀態(tài)被上述彈性支承體的另一端側(cè)支承；

位移檢測部，其檢測上述振動(dòng)件的位移并輸出信號(hào)，其特征在于，

上述振動(dòng)件在與上述振動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)方向平行的方向上形成槽和貫通孔中的一者或兩者。

2.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，驅(qū)動(dòng)模式的Q值滿足Q值＞100的關(guān)系，并且檢測模式的Q值的Qs與檢測模式的各頻率ωs滿足exp(-ωs/200Qs)＜0.1的關(guān)系。

3.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，上述振動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)氣體介質(zhì)被小于上述慣性傳感器的使用環(huán)境氣體介質(zhì)氣壓的氣體介質(zhì)所密封。

4.一種慣性傳感器的制造方法，該慣性傳感器包括：

彈性支承體，其一端側(cè)被設(shè)置在襯底的支承部支承；

振動(dòng)件，其以從上述襯底分離的狀態(tài)被上述彈性支承體的另一端側(cè)支承；

位移檢測部，其檢測上述振動(dòng)件的位移并輸出信號(hào)，其特征在于，

在形成上述振動(dòng)件的工序中，在與上述振動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)方向平行的方向上形成槽和貫通孔中的一者或兩者。