[發(fā)明專利]熱式流量傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710137064.6
• 申請(qǐng)日: 2007-07-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101109653A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中野洋;山田雅通;松本昌大;渡邊泉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立制作所
• 主分類號(hào): G01F1/69
• 分類號(hào): G01F1/69
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種熱式流量傳感器，其具備：

沿流體的流動(dòng)方向設(shè)置的基座部；和

傳感器元件，其安裝于該基座部，并在基板上形成有發(fā)熱電阻體，所述發(fā)熱電阻體用于檢測(cè)在所述主通路流動(dòng)的流體的流量，

該熱式流量傳感器的特征在于，

在所述基座部形成矩形的凹部，且所述傳感器元件以其檢測(cè)部表面低于所述凹部的上端緣的方式被嵌入固定安裝在該凹部?jī)?nèi)，而且，在所述傳感器元件對(duì)面的測(cè)定用通路壁部分設(shè)置節(jié)流部，且所述發(fā)熱電阻體從所述凹部的上游側(cè)端緣沿流動(dòng)方向，被隔離在不受因在所述凹部的上端緣與所述傳感器元件的檢測(cè)部表面之間形成的階梯差引起產(chǎn)生的流體的流動(dòng)紊亂的影響的位置。

2.一種熱式流量傳感器，在主通路內(nèi)，沿流體的流動(dòng)方向設(shè)有流體的一部分流入通過(guò)的副通路，在該副通路，沿流體的流動(dòng)方向設(shè)有基座部，并且在該基座部安裝有傳感器元件，所述傳感器元件在基板上形成有發(fā)熱電阻體，所述發(fā)熱電阻體用于檢測(cè)在所述主通路流動(dòng)的流體的流量，

該熱式流量傳感器的特征在于，

在所述基座部形成矩形的凹部，且所述傳感器元件以其檢測(cè)部表面低于所述凹部的上端緣的方式被嵌入固定安裝在該凹部?jī)?nèi)，而且，在所述傳感器元件對(duì)面的測(cè)定用通路壁部分設(shè)置節(jié)流部，且所述發(fā)熱電阻體從所述凹部的上游側(cè)端緣沿流動(dòng)方向，被隔離在不受因在所述凹部的上端緣與所述傳感器元件的檢測(cè)部表面之間形成的階梯差引起產(chǎn)生的流體的流動(dòng)紊亂的影響的位置。

3.如權(quán)利要求1或2所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

所述節(jié)流部形成為從所述凹部的上游側(cè)端緣至下游，通路截面積逐漸減小的形狀，所述發(fā)熱電阻體位于所述節(jié)流通路中的最窄部的上游端的下游側(cè)。

4.如權(quán)利要求3所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

在所述凹部的上端緣與所述傳感器元件的檢測(cè)部表面之間形成的階梯差設(shè)為D，所述節(jié)流部的平均斜度設(shè)為α，從所述凹部的上游側(cè)端緣至所述發(fā)熱電阻體的中心的距離設(shè)為L(zhǎng)，設(shè)定各部分的位置和尺寸形狀等以使L＞D·α成立。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

所述發(fā)熱電阻體的中心從所述凹部的上游側(cè)端緣沿流動(dòng)方向被隔離1.5mm以上。

6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

所述傳感器元件從其上游側(cè)端緣至下游側(cè)端緣的長(zhǎng)度被設(shè)定在3mm以上。

7.如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

所述發(fā)熱電阻體的中心位于所述傳感器元件的中心的下游側(cè)。

8.如權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

在所述凹部的上游側(cè)上端緣及/或下游側(cè)上端緣，沿流體的流動(dòng)方向，形成有突出到所述傳感器元件上的檐部。

9.如權(quán)利要求8所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

所述檐部形成有從根部側(cè)至前端朝向下方傾斜的錐面。

10.如權(quán)利要求2～9中任一項(xiàng)所述的熱式流量傳感器，其特征在于，

在所述副通路上的從上游端至所述凹部之間至少設(shè)有一個(gè)節(jié)流部。