[發明專利]全自動晶圓背面打標機

有效

• 申請號: 200710130653.1
• 申請日: 2007-07-12
• 公開（公告）號: CN101097848A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 陳有章;林宜龍;唐召來;張松嶺;冀守恒
• 申請（專利權）人: 格蘭達技術（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司
• 代理人: 齊永紅

1.一種全自動晶圓背面打標機，由前、后兩個區構成，其中前區上設置有電氣控制裝置(510)和PC機(511)，其特征在于：所述的前區(A)與后區(B)之間設置有隔板，隔板上設置有閘門進出口裝置(54)，前區(A)的外側設置有上料箱裝置(1)和下料箱裝置(9)，前區(A)的內部設置有機械手(52)和晶圓方向檢測裝置(53)；后區(B)的內部設置有晶圓打標平臺裝置(55)，打標平臺裝置(55)的上方和下方分別設置有標前檢測裝置(56)和標后檢測裝置(58)；所述的晶圓方向檢測裝置，包括晶圓轉盤裝置(215)、方向檢測傳感器(216)和方向檢測系統(214)，晶圓轉盤裝置(215)上帶有一個轉盤，方向檢測傳感器(216)也安裝在晶圓轉盤裝置(215)上，且位于轉盤的邊緣；方向檢測系統(214)包括一個步進電機(23)和一個與步進電機(23)相聯接的攝像頭(29)，轉盤位于攝像頭(29)的下方；所述的方向檢測系統(214)包括一個底座(24)，底座(24)上安裝有由兩個支架桿(21)和一個支架桿連接板(22)構成的支架，支架的頭部連接有安裝板(211)，步進電機(23)及與之相連的滾珠絲桿傳動(210)設置在安裝板(211)上，滾珠絲桿傳動(210)的滾珠體部分，即滾珠絲桿上的螺母，與滾珠體連接板(217)相連，攝像機(29)通過攝像機安裝板(28)、調整板(27)、直角連接板(26)、滾珠體連接板(217)與滾珠絲桿傳動(210)相連。

2.如權利要求1所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的上料箱裝置，包括一個料箱支撐架(7)，安裝在料箱支撐架(7)上的箱座(6)，以及放置在箱座(6)上的箱罩(1)，箱座(6)的內部設置有一個定位托板支承框(4)，定位托板支承框(4)上安裝有定位托板(2)，所述的定位托板(2)上設置有三個定位組件(3)，該三個定位組件(3)每個相隔120度地排列在一個圓周上，所述的定位托板(2)的中心部位的下方設置有位移檢測傳感器(5)，位移檢測傳感器(5)的上部連接有圓盤(8)，所述的定位組件(3)由一塊短圓柱和兩塊截面積為矩形的直角塊組成。

3.如權利要求1所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的直角連接板(26)上設置有一個吊裝板(25)，吊裝板(25)被彎成一個直角，一端安裝在直角連接板(26)上，另一端與機架頂端的托鏈(212)的一端相連。

4.如權利要求1所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的閘門進出口裝置包括安裝在隔板閘門開口(314)兩側上的氣動滑臺，氣動滑臺與閘門(31)相連接；前后區隔板(313)上還設置有一個用于控制滑臺開閉的電磁鎖定裝置；隔板閘門開口(314)處設置有閘門開口位置傳感器(37)；閘門開口位置傳感器(37)和電磁鎖定裝置均與晶圓背面打標機的PC裝置電連接。

5.如權利要求4所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的氣動滑臺由一個固定滑槽(38)和一個活動滑軌(39)構成，固定滑槽(38)固裝在前后區隔板(313)上，活動滑軌(39)在固定滑槽(38)上可上下滑動，所述的電磁鎖定裝置包括一個安全電磁鎖(312)和一個安全電磁鎖鑰匙(310)，安全電磁鎖鑰匙(310)的頂端設置有一個鑰匙連接板(311)。

6.如權利要求1所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的晶圓打標平臺裝置，包括打標平臺底板(44)、打標平臺底板(44)上方的傳動裝置，以及設置在傳動裝置上的晶圓平臺托板(413)，晶圓平臺托板(413)的中央為晶圓打標位置，傳動裝置與打標機的PC裝置電連接；所述的晶圓打標位置上設置有一塊光學玻璃圓板(41)，待打標的晶圓背面支承在光學玻璃圓板(41)上。

7.如權利要求6所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的晶圓打標位置為一個圓形，該圓形的內緣由下至上設置有兩個凸出的支承臺面，下層為光學玻璃支承面(415)、上層為晶圓支承面(416)；晶圓打標位置的邊緣設置有一個晶圓定位圈(42)，晶圓定位圈(42)的內緣設置有相通的四組氣孔槽(48)；所述的晶圓定位圈(42)的氣孔槽(48)的上方設置有晶圓支承面(416)，該晶圓支承面(416)與打標位置內緣的晶圓支承面(416)處于同一高度平面內。

8.如權利要求1所述的全自動晶圓背面打標機，其特征在于：所述的標前檢測裝置和標后檢測裝置上均設置有一個攝像頭，標前檢測裝置位于打標平臺的上方，攝像頭向下對準晶圓的正面，標后檢測裝置位于打標平臺的下方，攝像頭向上對準晶圓的背面。