[發明專利]差動位移裝置

無效

• 申請號: 200710129474.6
• 申請日: 2007-07-19
• 公開（公告）號: CN101350227A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 楊天德;林宏毅;范遠禮;郭遠明
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;G05D3/00;G01D11/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本發明涉及的是一種差動位移裝置，尤指一種具有變層與定層雙重作用的轉輪，可快速且精確地驅動平臺或裝置定位于一定距離、長度或高度，尤適用在各設備線性位移前后調整與固定距離的快速往復機械精密控制共存在一個裝置上。

背景技術

半導體(SILICON或IIIV后制程如IC產業、LED產業、LCD產業)制程中，對每個生產組件(或稱晶粒chip)都要經過點測、分析以確認組件是否合乎設計出貨規格。

點測結果差異分析也可回饋前端的設計或前段制程，故點測機是半導體設計、分析、生產的重要角色。而如何在微精密的組件(或稱晶粒)能夠通過探針精準的接觸以進行量測、光學(顯微鏡、CCD等)被測物(如芯片的X、Y、Z方向移動載臺、針測用的界面探針卡或夾針座)的上下分離或接觸機構都是基本的配備。

請參閱圖1所示一種現有檢測裝置，所述的檢測裝置10包含一可置放待測物14的平臺11、一取像模塊12以及一運動機構13，所述的運動機構13包括一X軸移動單元131、一Y軸移動單元132、一Z軸移動單元133，分別用以驅動所述的平臺11作X軸、Y軸運動，以及所述的取像模塊12作Z軸運動，可對待測物14進行三維對焦取像；所述的現有檢測裝置10所存在的主要弊端在于，每置換一待測物14時，所述的取像模塊12均必須重新進行三維對焦，因此耗費許多對焦時間，拉長檢測過程，并影響整體生產率。

其次，已知中國臺灣省發明專利申請第93117308號「具補償功能的視覺檢測裝置及其聚焦誤差補償方法」，所述的案是在視覺檢測裝置上設有一控制運算模塊，用在控制所述的運動機構的運動以進行掃描，所述的控制運算模塊包括一處理單元、一記憶單元、一命令單元以及一判讀單元，首先由所述的處理單元量取平臺上復數個點的撓曲量，根據所述的撓曲量建立一數學模式以得到整個所述的平臺的撓曲量分布，并將所述的垂直撓曲量儲存在一記憶單元，再由一命令單元依據所述的垂直撓曲量命令所述的運動機構運動以補償取像模塊的焦距變異，最后由所述的判讀單元根據電子影像的數據判讀所述的待測物的圖型與幾何尺寸；據此可知，由于所述的控制運算模塊必須能夠負擔繁復的運算處理，故其構造必定相當復雜，不僅導致制造成本高，且造成維修或調校的困難。

綜上所述可知，目前針測機針測用界面(探針卡或夾針座)其高度設定多為旋轉旋鈕以驅動界面升降，在維修時必須下降芯片的Z方向(即垂直方向)移動載臺使探針與芯片分離以免傷害到探針與芯片，維修完成后再上升Z方向移動載臺到探針高度，此時因為Z方向移動過，故光學(顯微鏡、CCD等)與Z方向載臺的關系變還，光學必須重新對準Z方向載臺的焦距，因此維修的步驟時間冗長。

因此，若要同時能具有固定距離的快速往復機械精密控制又具有線性偏移調整共存在一個裝置上，對使用者便利性將大大提升。

發明內容

有鑒于現有技術的缺陷，本發明的主要目的在于提出一種差動位移裝置，其具有變層與定層雙重作用，可快速且精確地驅動平臺或裝置定位于一定距離、長度或高度。

為達到上述目的，本發明首先提出一種差動位移裝置，其包含：

一中心軸，其具有一輸入端與一輸出端；

一第一環齒輪，是軸設在所述的中心軸的輸入端，其具有內環齒；

至少一第一行星齒輪，是位所述的第一環齒輪內并與所述的第一環齒輪嚙合；

一太陽齒輪，是軸設在所述的中心軸上，并與所述的第一行星齒輪嚙合；

一第二環齒輪，是套設在所述的中心軸外，其具有內環齒；

至少一第二行星齒輪，是位所述的第二環齒輪內并與所述的第二環齒輪嚙合，且所述的第二行星齒輪是與所述的第一環齒輪相連接；

一限位裝置，是用以使所述的第一環齒輪定位于一第一角度位置，且使所述的第二環齒輪可在所述的第一角度位置與一第二角度位置所形成的區域內往復轉動；

如此，當所述的第二環齒輪轉動至第二角度位置時，可由所述的第二環齒輪帶動所述的第二行星齒輪轉動，由于所述的第二行星齒輪是與所述的第一環齒輪相連接，因此可驅動所述的第一環齒輪轉動，并依序帶動所述的第一行星齒輪、所述的太陽齒輪轉動，進而帶動所述的中心軸轉動，反的，當所述的第二環齒輪反向轉回至所述的第一角度位置時，可依序帶動所述的第二行星齒輪、所述的第一環齒輪、所述的第一行星齒輪、所述的太陽齒輪反向轉動，進而帶動所述的中心軸反向轉動。

較佳地，所述的限位裝置是包含：

一環狀片體，是設置在所述的第一環齒輪底部，所述的環狀片體的外徑大于所述的第一環齒輪的外徑，使所述的環狀片體的外緣是凸出在所述的第一環齒輪外圍；