[發(fā)明專利]類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)晶圓分析系統(tǒng)與方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710129100.4
• 申請日: 2007-07-11
• 公開（公告）號: CN101344787A
• 公開（公告）日: 2009-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡明欽
• 申請（專利權(quán)）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: G05B21/02
• 分類號: G05B21/02;G05B13/02
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

1.一種晶圓分析系統(tǒng)，其特征在于，包含：

一處理單元，用以接收由一測試單元所提供的測試數(shù)據(jù)；以及

一類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)及比對單元，連結(jié)于該處理單元，可接受該處理單元的指令以進(jìn)行運(yùn)算，并將運(yùn)算后的結(jié)果與該處理單元于一數(shù)據(jù)庫單元所擷取的數(shù)據(jù)進(jìn)行比對，以進(jìn)行學(xué)習(xí)使系統(tǒng)分析的結(jié)果趨近人工分析的結(jié)果；

由此，節(jié)省人工分析的時(shí)間。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該處理單元可以將該測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換而成一輸出值。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)及比對單元包含一種計(jì)算機(jī)可讀取記錄媒體，該計(jì)算機(jī)可讀取記錄媒體具有JAVA寫成的類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)程序指令，經(jīng)由指令的執(zhí)行，可以分析晶圓測試的結(jié)果。

4.如權(quán)利要求2所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該轉(zhuǎn)換步驟更包含下列步驟：

將該測試數(shù)據(jù)分別乘上權(quán)重而得到多個(gè)偏權(quán)結(jié)果；

加總所有的偏權(quán)結(jié)果而得到一偏權(quán)值；以及

將該偏權(quán)值代入活化函數(shù)而得到一輸出值。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該輸出值包含晶圓分析的種類例如正常、線性異常以及局部異常等。

6.如權(quán)利要求4所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該輸出值如果為異常，可以使該測試單元發(fā)出警報(bào)并停止測試的動(dòng)作。

7.如權(quán)利要求4所述的晶圓分析系統(tǒng)，其中，該輸出值的定義可選擇為介于0與1之間的數(shù)值或?yàn)?a，b)形式的其中之一；該輸出值的定義為介于0與1之間的數(shù)值時(shí)其判斷分界為0.5，而該輸出值的定義為(a，b)形式時(shí)其以a＜b及a＞b為判斷分界。

8.一種利用類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的晶圓分析方法，其特征在于，包含下列步驟：

(a)提供一測試單元進(jìn)行晶圓測試，產(chǎn)生多個(gè)測試數(shù)據(jù)；

(b)提供該測試數(shù)據(jù)至一處理單元，該處理單元將該多個(gè)測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成一輸出值；

(c)比對該輸出值改變其偏權(quán)值使該輸出值接近預(yù)期并重復(fù)步驟(a)至(c)以訓(xùn)練該系統(tǒng)；以及

(d)以訓(xùn)練完的系統(tǒng)分析晶圓，

由此，以節(jié)省人工分析的時(shí)間。

9.如權(quán)利要求9所述的晶圓分析方法，其中，該類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)包含時(shí)間延遲類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及循環(huán)類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀取記錄媒體，包含有計(jì)算機(jī)可執(zhí)行程序指令，可經(jīng)由指令以執(zhí)行一利用類神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)分析晶圓的方法，其特征在于，該方法包含：

(a)提供一測試單元進(jìn)行晶圓測試，產(chǎn)生多個(gè)測試數(shù)據(jù)；

(b)提供該測試數(shù)據(jù)至一處理單元，該處理單元將該多個(gè)測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成一輸出值；

(c)比對該輸出值改變其偏權(quán)值使該輸出值接近預(yù)期并重復(fù)步驟(a)至(c)以訓(xùn)練該系統(tǒng)；以及

(d)以訓(xùn)練完的系統(tǒng)分析晶圓

由此，以節(jié)省人工分析的時(shí)間。