[發明專利]匣盤輸送裝置

無效

• 申請號: 200710127404.7
• 申請日: 2007-07-05
• 公開（公告）號: CN101339204A
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發明（設計）人: 韓信輝
• 申請（專利權）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

技術領域

本發明涉及一種匣盤輸送裝置，特別是有關于一種具有兩組同動推桿的匣盤輸送裝置，以改善匣盤輸送時的效率。

背景技術

目前半導體元件測試大都使用自動測試系統(Automatic?TestEquipment，ATE)來進行測試，檢測完的晶圓經過切割成為晶粒(die)，再利用晶粒分類機(dice?sorter)將晶粒放置于匣盤(tray)上，其中晶粒分類機上的匣盤輸送裝置對于晶粒分類機的處理效率有很大的影響。

圖1A、圖1B分別顯示現有技術中，匣盤輸送裝置的側面示意圖與俯視示意圖，該匣盤輸送裝置10，包含一匣盤儲存槽11、一輸送平臺12、一推桿13、一作動推桿14、一輸出平臺16、一出料推桿18以及一匣盤存放裝置19，另外還包含一芯片拾取頭17。

匣盤儲存槽11用以儲存多個匣盤2，該匣盤儲存槽11具有一匣盤輸出裝置112，每次可輸出一匣盤2。推桿13設置于匣盤儲存槽11下方，用以將由匣盤儲存槽11輸出的匣盤2推送至輸送平臺12。

輸送平臺12用以承載由匣盤儲存槽11輸出的匣盤2，且該輸送平臺12包含一緩沖區121與一作動區122。作動推桿14設置于輸送平臺12，用以推頂位于輸送平臺12的匣盤2，而令該匣盤2于輸送平臺12上移動。芯片拾取頭17設置于作動區122的上方，用以將一晶圓上的芯片放入匣盤2。

輸出平臺16用以承載由輸送平臺12輸出的匣盤2。出料推桿18設置于輸出平臺16，用以推頂位于輸出平臺16的匣盤2于輸出平臺16上移動。匣盤存放裝置19用以儲存多個匣盤2。

圖1C至圖1H顯示圖1B中，匣盤輸送裝置的動作過程。其中，圖1C顯示推桿13將由匣盤儲存槽11輸出的匣盤2移至輸送平臺12上的緩沖區121。

圖1D顯示作動推桿14移至緩沖區121，以推頂匣盤2于輸送平臺12上移動，此時，匣盤儲存槽11輸出一匣盤2至推桿13前方。

圖1E顯示作動推桿14將匣盤2推頂至作動區122，前述的芯片拾取頭17可將一晶圓上的芯片放入匣盤2(圖中未示)，此時，推桿13將由匣盤儲存槽11輸出的匣盤2移至輸送平臺12上的緩沖區121。

圖1F顯示作動推桿14將完成芯片放置的匣盤2移至輸送平臺12與輸出平臺16的交界。

圖1G顯示作動推桿14移至匣盤2的側邊，推頂匣盤2朝向輸出平臺16移動，此時，匣盤儲存槽11輸出一匣盤2至推桿13前方。

圖1H顯示作動推桿14推頂匣盤2的側邊，將匣盤2移至輸出平臺16，然后再由出料推桿18將匣盤2移至匣盤存放裝置19，接著作動推桿14再重復前述的動作，移至緩沖區121以推頂下一個匣盤2于輸送平臺12上移動。

上述的匣盤輸送裝置10僅具有一作動推桿14，雖可通過該作動推桿14使得匣盤2在輸送平臺12上移動，然而當作動推桿14將匣盤2移至輸出平臺16后，該作動推桿14需要花費較長的時間，由輸出平臺16的位置移至該緩沖區121的位置，以取得下一個匣盤2，此時晶粒分類機必須等待該作動推桿14完成動作，造成時間的浪費。

鑒于上述現有技術所存在的缺點，有必要提出一種匣盤輸送裝置，以改善晶粒分類機必須等待作動推桿的問題，提高晶粒分類機的效率，并且可用在類似具有匣盤輸送裝置的設備上。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足與缺陷，提供一種匣盤輸送裝置，以改善晶粒分類機必須等待作動推桿的問題，以提高晶粒分類機的效率。

根據上述的目的，本發明提供一種匣盤輸送裝置，包含：一輸送平臺，該輸送平臺包含一緩沖區與一作動區；一入料推桿，該入料推桿設置于輸送平臺，用以推頂位于緩沖區的一第一匣盤于輸送平臺上移動；一作動推桿，該作動推桿設置于輸送平臺，用以推頂位于作動區的一第二匣盤于輸送平臺上移動；以及一輸出平臺，該輸出平臺用以承載由該輸送平臺輸出的該第二匣盤；其中，入料推桿與作動推桿為同動，當作動推桿將位于作動區的該第二匣盤推頂至輸出平臺時，入料推桿可將位于緩沖區的該第一匣盤推頂至作動區，該作動推桿包含一第一作動推頂端與一第二作動推頂端，先以該第一作動推頂端推頂該第二匣盤，再以該第二作動推頂端推頂該第二匣盤，將位于該作動區的該第二匣盤推頂至該輸出平臺，該入料推桿包含一第一入料推頂端與一第二入料推頂端，先以該第一入料推頂端推頂該第一匣盤，再以該第二入料推頂端推頂該第一匣盤，將位于該緩沖區的該第一匣盤推頂至該作動區。