[發明專利]基板輸送裝置

有效

• 申請號: 200710123230.7
• 申請日: 2007-07-02
• 公開（公告）號: CN101339316A
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發明（設計）人: 李碩周
• 申請（專利權）人: 顯示器生產服務株式會社
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;H01L21/677;B65G49/06
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃威;徐金偉

技術領域

本發明涉及一種基板輸送裝置，尤其涉及一種在制造平板顯示器基板的各種工序的輸送線中，可連續輸入及輸出基板的基板輸送裝置。

背景技術

通常，用于平板顯示器的玻璃基板(以下稱“基板”)是通過蒸鍍、蝕刻、剝離、清洗、漂洗等一系列工序來制造。所述各制造工序中均設有輸送裝置，其沿著輸送線依次輸送多個基板，并進行相應的作業。

所述輸送裝置是常用滾筒式輸送機結構，其在輸送線上配置相隔一定距離的多個輸送輥，而基板能夠置放在所述輸送輥的上面，并在此狀態下可移動。

而且，所述輸送裝置與緩沖單元連接，所述緩沖裝置可對應于輸送線投入及輸出基板。

所述緩沖單元，分別位于輸送線的投入及輸出位置上，而且通過上/下操作，將基板裝載于輸送輥上，或從輸送輥卸載，并藉此緩沖方式進行基板的投入及輸出。

所述緩沖單元主要有兩種類型的緩沖結構。所述兩種結構中，其中一種緩沖單元的結構如下，即，在輸送輥之間設置與基板底面接觸而用于支撐基板的多個提升銷(lift-pin)，各提升銷則接收驅動源所傳遞的動力而進行上/下移動動作。

而另一種緩沖單元則使用眾所周知的機械臂，所述機械臂設置在輸送輥之間，并在此狀態下，可以進行用于緩沖基板的上/下移動動作。

但是，具有上述結構的現有緩沖單元，由于其提升銷或機械臂設置在所述各輸送裝置的輸送輥之間，并在其狀態下進行上/下移動動作，因此這種結構，例如，在基板未脫離輸送線的投入或輸出位置時，受到該基板的干擾，而無法連續進行為投入或輸出下一個基板的上/下移動動作，從而在基板的緩沖作業中需要等待過多的時間。

特別是，對于這種輸送線進行投入或輸出基板的緩沖工序中需要等待過多的時間，這是降低生產效率和作業效率的主要因素。

發明內容

本發明鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種易于進行基板的緩沖作業，尤其是在進行緩沖作業時可連續投入和輸出基板，從而將等待時間大幅縮短的基板輸送裝置。

為實現上述目的，本發明提供一種基板輸送裝置，其包括：

基板輸送單元，其配置有隔開設置的多個輸送輥，并且在所述多個輸送輥的上面以水平或傾斜狀態輸送基板；

緩沖臂，其上面可放置基板，并且通過上/下移動從所述輸送輥上承接基板或向所述輸送輥移交基板；

支架，其具備使所述緩沖臂上/下移動的上/下移動驅動單元，并且固定所述緩沖臂，使所述緩沖臂可在能夠移交或承接基板的狀態下移動；

狀態變換單元，其通過鉸接方式連接所述緩沖臂和支架，并且產生旋轉力，使所述緩沖臂以鉸接部為基準進行旋轉而改變其狀態，

其中所述基板輸送單元設置在支撐架上，所述支撐架與所述緩沖臂相對應的部分被切除。

本發明基板輸送裝置，可連續進行向輸送線移交基板或與此相反從輸送線承接基板的緩沖臂的上/下移動動作，因此，不僅大幅縮短了基板的移交或承接操作后產生的等待時間，而且可以提高基板輸送效率從而能夠提高工作效率和生產效率。

附圖說明

圖1是本發明實施例的基板輸送裝置整體結構的截面圖。

圖2是用于說明圖1中緩沖臂的上/下移動的示意圖。

圖3是用于說明圖1中支架結構的示意圖。

圖4及圖5是用于說明本發明實施例的基板輸送裝置的狀態變換單元結構的示意圖。

圖6及圖7是本發明實施例的基板輸送裝置的基板移交作業中，緩沖臂進行向下操作前狀態的示意圖。

圖8及圖9是本發明實施例的基板輸送裝置的基板移交作業中，緩沖臂進行向下操作后狀態的示意圖。

圖10、圖11及圖12是本發明實施例的基板輸送裝置移交基板后，緩沖臂進行向上操作狀態的示意圖。

圖13是用于說明圖5中狀態變換單元的其他操作實施例的示意圖。

圖14是用于說明本發明另一實施例的基板輸送裝置結構的示意圖。

具體實施方式

下面，參照附圖說明本發明的優選實施例，在所屬領域的技術人員能夠實施的范圍內進行說明。

然而，本發明可具有各種不同的實施方式而并不局限于在此示出的實施例。

圖1是本發明實施例的基板輸送裝置整體結構的剖視圖，附圖符號2表示緩沖臂，而所述緩沖臂2位于輸送裝置F上方，所述輸送裝置F構成用于輸送基板G的輸送線。

所述輸送裝置F，采用了一般結構，即，由多個輸送輥R構成，而且，當所述多個輸送輥R接收從電機R1傳遞的旋轉力而旋轉時，可使基板G在水平或傾斜放置于所述輸送裝置F上面的狀態下移動。