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[實(shí)用新型]一種多晶硅錠定向凝固爐有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220540197.4 申請日: 2012-10-22
公開(公告)號: CN202865393U 公開(公告)日: 2013-04-10
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 譚曉松;陳國紅;瞿海斌 申請(專利權(quán))人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
主分類號: C30B28/06 分類號: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113 代理人: 馬強(qiáng)
地址: 410205 湖南省*** 國省代碼: 湖南;43
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 多晶 定向 凝固
【權(quán)利要求書】:

1.?一種多晶硅錠定向凝固爐,包括爐腔(4)、真空泵機(jī)組(1)、連接爐腔(4)和真空泵機(jī)組(1)的抽氣管道(3),其特征是,所述抽氣管道(3)上加裝可過濾固體顆粒雜質(zhì)的過濾器(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)內(nèi)設(shè)有濾網(wǎng)(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)通過法蘭及卡扣與抽氣管道(3)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(2)設(shè)有進(jìn)口和出口,且過濾器的進(jìn)、出口管徑與抽氣管道(3)內(nèi)徑相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述多晶硅錠定向凝固爐,其特征是,所述過濾器(3)一端設(shè)有開口(6)。

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