[發明專利]鍵合銅線制造方法

有效

• 申請號: 200710113004.0
• 申請日: 2007-09-15
• 公開（公告）號: CN101386930A
• 公開（公告）日: 2009-03-18
• 發明（設計）人: 曹顏順;程壽明;高士龍;王超
• 申請（專利權）人: 山東華宏微電子材料科技有限公司
• 主分類號: C22C9/00
• 分類號: C22C9/00;H01B1/02;H01L23/48;C22C1/02;B21B3/00;B21B37/16;B21C1/00;C22F1/08
• 代理公司: 德州市天科專利商標事務所
• 代理人: 房成星

1.一種鍵合銅線制造方法，其特征是將6NCu，經脫S區熔精煉制得DHPCu錠，再添加Ga，Mg，Be，Ge，In，Ag，Ca元素中的一個以上，分別熔化、鑄錠，經軋制、退火，扒皮、拉伸加工、再退火，反復進行直到φ25μm，最后在保護氣氛下退火，制得本鍵合銅線；

所用原料組分：6NCu99.9999-99.99999％、添加高純Ga，Mg，Be，Ge，In，Ag，Ca和La元素中的一個以上，含量在0.1-1ppm之間；其制備工藝：

(1)區熔精煉：

以高純銅6NCu為原料，在高真空電爐中，熔煉出含0.1-1ppmLa脫S元素鑄錠，放入自制的透明石英管中，抽真空保持1.3×10^-3Pa，再置于高頻線圈加熱，功率18-22kw頻率235-260kHz，熔融寬度30±10mm，熔融區移動速度為1.3-1.8mm/min，進行3次精煉，制得脫S區熔精煉DHPCu錠；

(2)摻雜：

用脫S區熔精煉高純銅DHPCu錠摻加0.1-1ppmGa，Mg，Be，Ge，In，Ag，Ca元素之中的一個以上，在高頻真空感應爐熔化，鑄錠；

(3)軋制：

按道次加工率7％-9％軋制到φ7.5mm，經350-450℃真空退火；

(4)拉伸加工：

扒皮到φ7mm，進一步經90-99.5％的拉伸加工，350-450℃真空退火，反復進行直到φ25μm；

(5)保護氣氛下退火處理：

最后在Ar氣保護下經250-400℃退火，達到所要求的性能，制得本鍵合銅線；

(6)成品檢驗、包裝、入庫。