[發明專利]光學部件的粘合方法、光學部件一體結構和激光振蕩裝置

無效

• 申請號: 200710109921.1
• 申請日: 2007-06-06
• 公開（公告）號: CN101087055A
• 公開（公告）日: 2007-12-12
• 發明（設計）人: 江野泰造;后藤義明;籾內正幸
• 申請（專利權）人: 株式會社拓普康
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 浦柏明;劉宗杰

技術領域

本發明涉及一種光學部件的粘合方法及其通過該光學部件構成的激光振蕩裝置。

背景技術

近年來，要求激光振蕩裝置的小型化、高輸出化。作為小型且簡便地使激光振蕩的激光振蕩裝置，有固體激光振蕩裝置，該固體振蕩裝置由多個光學部件(固體激光媒介)構成。而且，隨著該光學部件的小型化，光學部件間通過光學部件的粘合而相互一體化。

以往，通過光學部件之間用粘接劑粘合來進行多個光學部件的一體化。而且，在激光振蕩裝置的小型化的同時，推進激光振蕩裝置的高輸出化，隨著激光振蕩裝置的高輸出化，通過光學部件入射高能量的激光光線，光學部件也實現高溫化。

通常，粘接劑與光學部件相比，對激光光線和對高溫容易劣化。在低輸出的激光振蕩裝置中，即使光學部件的一體化采用粘接劑，由于激光光線的能量較低，降低光學部件的溫度也較低，所以粘接劑的劣化不會特別成為問題，但是在高輸出激光振蕩裝置中隨著粘接劑的劣化，光學部件的短壽命化成為問題。

另外，作為使用光學部件、產生高輸出激光光線的激光振蕩裝置在特開2004-111542號公報中示出。

發明內容

本發明的目的在于提供一種即使對高輸出激光光線或高溫也不會發生劣化的光學部件一體化方法，多個光學部件相互一體化的激光振蕩裝置。

本發明的光學部件粘合方法具有：在一個光學部件粘合面上形成一個的電介質薄膜的步驟；在另一的光學部件的粘合面上形成另一電介質薄膜的步驟；以及使上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜進行光不散射粘合的步驟，通過上述另一電介質薄膜和上述一個電介質薄膜粘合以得到規定的光學波長特性；根據本發明的光學部件的粘合方法，上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜粘合形成的電介質薄膜是多層膜；根據本發明的光學部件粘合方法，上述光不散射的粘合是光接觸；根據本發明的光學部件粘合方法，上述光不散射粘合是漫射粘合；根據本發明的光學部件的粘合方法，上述光不散射粘合的方法是超聲波粘合.

另外，本發明的光學部件一體結構具有：在一個光學部件的粘合面上形成的一個電介質薄膜；在另一光學部件的粘合面上形成的另一電介質薄膜，將上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜通過光不散射粘合進行粘合，從而粘合上述兩個光學部件，通過將上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜進行粘合而形成具有所要光學波長特性的電介質膜；此外，在本發明的光學部件一體結構中，上述電介質膜由多層電介質薄膜構成，上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜通過光不散射粘合來粘合，形成多層膜內的一層；在本發明光學部件一體結構中，上述電介質膜由多層電介質薄膜構成，上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜通過光不散射粘合來粘合，通過上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜而形成多層膜內的相鄰兩層；根據本發明的光學部件一體結構，上述一個光學部件是通過光源的激發光而發出基本光的激光器晶體，上述另一光學部件是將上述基本光波長變換的波長變換晶體，上述電介質薄膜透過基本光，發射波長變換光；在本發明的光學部件一體結構中，上述光不散射粘合是光接觸，根據本發明的光學部件一體結構，上述光不散射粘合是漫射粘合，根據本發明的光學部件一體結構，上述光不散射粘合是超聲波粘合.

而且，根據本發明的激光振蕩裝置，具有：通過來自光源的激發光而發出基本光的激光器晶體；通過第三電介質膜與上述激光器晶體一體化并對基本光進行波長變換的波長變換晶體；在上述激光器晶體入射面上形成的第一電介質膜；在上述波長變換晶體射出面上形成的第二電介質膜，上述第一電介質膜透過激發光，反射基本光，將激光器晶體側膜和波長變換晶體側膜通過光不散射粘合進行粘合而形成上述第三電介質膜，上述第三電介質膜構成為透過基本光，反射波長變換光，上述第二電介質膜反射基本光，透過波長變換光；根據本發明的激光振蕩裝置，上述光不散射粘合是光接觸；另外，根據本發明的激光振蕩裝置，上述光不散射粘合是漫射粘合；另外，根據本發明的激光振蕩裝置，上述光不散射粘合是超聲波粘合。

根據本發明，具有：在一個光學部件的粘合面上形成一個電介質薄膜的步驟；在另一光學部件的粘合面上形成另一電介質薄膜的步驟；將上述一個電介質薄膜和上述另一電介質薄膜進行光不散射粘合的步驟，通過粘合上述另一電介質薄膜和上述一個電介質薄膜而得到規定的光學波長特性，所以光學部件的粘合可以排除粘接劑，防止由粘接劑劣化引起短壽命化。