[發(fā)明專利]產(chǎn)生不相干輻射的反射環(huán)路系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710109897.1
• 申請日: 2007-06-05
• 公開（公告）號: CN101105638A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·J·M·巴塞爾曼斯;K·尤雅馬
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司;大日本網(wǎng)目版制造株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曾祥夌;王小衡

1.一種系統(tǒng)，包括：

輻射源，它產(chǎn)生相干或部分相干射束；以及

反射環(huán)路系統(tǒng)，它包括曲面反射裝置，并配置成通過環(huán)路反射所述部分相干射束，以形成更加不相干的射束。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)包括第二反射裝置。

3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中第一和第二反射裝置都是曲面的。

4.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中第一和第二反射裝置中的至少一個包括第一和第二部分，且第一和第二部分中的至少一個相對于第一和第二反射裝置的相應(yīng)反射面不對準(zhǔn)。

5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)包括第二到第四反射裝置。

6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中四個反射裝置包括三個平面反射裝置和所述曲面反射裝置。

7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)包括反射裝置，所述反射裝置具有相對彼此傾斜的相應(yīng)反射面，以便形成不重疊環(huán)路。

8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中：

使用第一光學(xué)裝置使所述部分相干射束入耦合到所述反射環(huán)路系統(tǒng)中；以及

使用第二光學(xué)裝置使所述不相干射束從所述反射環(huán)路系統(tǒng)中出耦合。

9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)包括場平面和光瞳平面。

10.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)包括兩個場平面和兩個光瞳平面。

11.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述至少部分相干射束或所述不相干射束穿過所述反射環(huán)路系統(tǒng)中的針孔。

12.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)還包括：

第二反射裝置，與所述反射環(huán)路系統(tǒng)的場相關(guān)聯(lián)；以及

第三反射裝置，與所述反射環(huán)路系統(tǒng)的光瞳相關(guān)聯(lián)，

其中基于第二和第三反射裝置的相應(yīng)反射面之間的不對準(zhǔn)，改變所述場或所述光瞳的位置。

13.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)配置成，在每個環(huán)路后，所述不相干射束的第一部分從所述反射環(huán)路系統(tǒng)透射，且所述不相干射束的其余部分沿所述環(huán)路中的另一環(huán)路被引導(dǎo)。

14.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中：

所述不相干射束通過所述反射環(huán)路系統(tǒng)的光瞳或場中之一被透射；以及

所述至少部分相干射束在所述反射環(huán)路系統(tǒng)的光瞳或場中的另一個被接收。

15.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括：

圖案形成裝置，它使所述不相干射束形成圖案；以及

投射系統(tǒng)，它將所述不相干射束投射到襯底的目標(biāo)部分上。

16.如權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，還包括：

照射系統(tǒng)，它處理所述不相干射束，并將所述不相干射束引導(dǎo)到所述圖案形成裝置上。

17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述照射系統(tǒng)包括所述輻射源和所述反射環(huán)路系統(tǒng)。

18.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述環(huán)路的路徑長度大于所述至少部分相干射束的時間相干長度。

19.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括：

一個或多個附加反射環(huán)路系統(tǒng)，它們配置成從上游反射環(huán)路系統(tǒng)接收相應(yīng)的不相干射束，并通過環(huán)路反射所述不相干射束，以形成另一不相干射束。

20.一種光刻系統(tǒng)，包括：

照射系統(tǒng)，它產(chǎn)生輻射的照射射束，包括：

輻射源，以及

反射環(huán)路系統(tǒng)，它包括曲面反射裝置；

圖案形成裝置，它使所述輻射的照射射束形成圖案；以及

投射系統(tǒng)，它將形成圖案的射束投射到襯底的目標(biāo)部分上。

21.如權(quán)利要求20所述的光刻系統(tǒng)，其中：

所述反射環(huán)路系統(tǒng)配置成接收所述部分相干射束，并在環(huán)路中反射所述部分相干射束，以形成不相干射束。

22.如權(quán)利要求21所述的光刻系統(tǒng)，其中所述反射環(huán)路系統(tǒng)配置成，在每個環(huán)路后，所述不相干射束的第一部分從所述反射環(huán)路系統(tǒng)被透射，且所述不相干射束的其余部分沿所述環(huán)路中的另一環(huán)路被引導(dǎo)。