[發明專利]圖案形成方法和圖案形成設備有效
| 申請號： | 200710108780.1 | 申請日： | 2007-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN101082770A | 公開（公告）日： | 2007-12-05 |
| 發明（設計）人： | 奧島真吾;關淳一 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 馬浩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種通過使用具有壓印圖案的模子在基板上形成圖案的圖案形成方法，所述圖案形成方法包括：
制備在其上具有圖案形成區域的基板；
在所述基板上的所述圖案形成區域中按相等的量分散液態的可固化樹脂材料；
將所述可固化樹脂材料變形為與所述壓印圖案對應的形狀；以及
使變形的可固化樹脂材料固化，
其中，所述可固化樹脂材料被分散在彼此間隔開且平行的多條直線上，并且以逐漸增大的間距接連分散在所述直線中的每一條上，以及
其中，根據所述可固化樹脂材料的蒸發量，調整所述間距。
2.如權利要求1所述的圖案形成方法，其中，根據所述模子的壓印圖案的凸起或凹坑的密度差、所述模子的壓印圖案的凸起或凹坑的深度或高度、或者所述基板的應變，重新調整所述間距。
3.如權利要求1所述的圖案形成方法，其中，根據所述可固化樹脂材料的蒸發量，調整所述多條直線的行寬度。
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