[發(fā)明專利]用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710107577.2
• 申請日: 2007-05-21
• 公開（公告）號: CN101093810A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設計）人: 李晟熙;李明振
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社細美事
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 高翔

1.用于調(diào)整先進先出的緩沖系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含，

一個或多個具有軸和安裝固定在軸上的輥筒的緩沖層，用以暫時存儲或傳遞基板；

垂直移動單元，其上下移動緩沖層，使得載有待傳遞的基板的緩沖層與驅(qū)動單元連接；以及

驅(qū)動單元，其使得載有待傳遞基板的緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)，從而傳遞基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是還包括具有支承其中的軸的孔的緩沖體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動單元通過使用磁性斜齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是驅(qū)動單元通過使用磁盤齒輪使緩沖層的軸旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動單元存儲先進入的基板的緩沖層次序，并根據(jù)存儲的順序上下移動緩沖層以傳送基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖系統(tǒng)，其特征是垂直移動單元通過活塞或螺旋齒輪的方式上下移動緩沖層。