[發(fā)明專利]利用噴砂形成等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710104944.3
• 申請(qǐng)日: 2002-04-03
• 公開（公告）號(hào): CN101075521A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤永昭弘;石塚和德;金江達(dá)利;巖崎和英;南都利之;川浪義實(shí);柴田將之;國(guó)井康彥;小坂忠義;豐田治;白川良美
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士通株式會(huì)社;富士通日立等離子顯示器股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J9/24
• 分類號(hào): H01J9/24
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 何騰云

本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枴?2807991.4”、申請(qǐng)日“2002年4月3日”、發(fā)明名稱“利用噴砂形成等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種制造在顯示區(qū)域內(nèi)具有間隔壁的等離子體顯示面板(Plasma?Display?Panel：PDP)用的間隔壁的形成方法，利用噴砂法形成間隔壁。

背景技術(shù)

用于彩色顯示的面放電型PDP，具有防止相鄰的單元之間的放電干擾用的間隔壁。對(duì)于間隔壁的配置圖形，有將顯示區(qū)域劃分成矩陣顯示列(column)的帶狀圖形，劃分成單元的網(wǎng)格圖形。在采用帶狀圖形的情況下，將平面視圖中帶狀的間隔壁配置在顯示區(qū)域。在采用網(wǎng)格狀圖形的情況下，將具有分別包圍全部單元的平面視圖形狀的間隔壁(所謂ポツクスリプ)配置在顯示區(qū)域內(nèi)。

一般地，間隔壁是低熔點(diǎn)的玻璃燒結(jié)體，用噴砂法形成。圖12表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁的形成方法。在該圖中的間隔壁圖形是帶狀圖形。間隔壁按以下步驟形成。(A)在玻璃基板101涂布均勻厚度的低熔點(diǎn)玻璃糊劑使之干燥，用作為掩模材料的感光性抗蝕劑膜103a被覆由干燥的糊劑構(gòu)成的層狀的間隔壁材料102a。(B)利用包括圖形曝光和顯影的光刻法，形成對(duì)應(yīng)于間隔壁的圖形的掩模103。(C)噴射切削材料切削掉間隔壁材料102a所沒(méi)有掩模的部分。這時(shí)，沿著掩模圖形中多個(gè)帶的長(zhǎng)度方向使噴射噴嘴往復(fù)移動(dòng)，均勻地一點(diǎn)一點(diǎn)地挖掉很寬的范圍內(nèi)的間隔壁材料102a。(D)除去已形成圖形的間隔壁材料102b上殘留的掩模103。(E)通過(guò)燒結(jié)間隔壁材料102b獲得間隔壁112。在燒結(jié)過(guò)程中，伴隨著粘結(jié)劑的消失，間隔壁材料102b的體積減少。

如圖12(C)所示，在噴砂過(guò)程中，在掩模103的噴嘴移動(dòng)方向的端部，間隔壁材料102b被向掩模103的下方挖入產(chǎn)生側(cè)面切削。這是因?yàn)椋瑥膰娮靽娚涑鰜?lái)的切削材料的一部分在玻璃基板101上反射，并且，通過(guò)與噴嘴中出來(lái)的切削材料碰撞，具有與噴嘴移動(dòng)方向平行的移動(dòng)成分，具有這種成分的切削材料挖掘間隔壁的端部。切削速度越高，側(cè)面切削的量越大。可以認(rèn)為，其原因是，在單位時(shí)間內(nèi)切削材料的噴出量增大的情況下，上述成分的比例增加。下面，將引起側(cè)面切削的上述成分稱之為噴流。這種側(cè)面切削，會(huì)引起作為圖形成形不良的原因的切削過(guò)程中的掩模的剝離。此外，側(cè)面切削妨礙形成均勻高度的間隔壁112。如圖12(D)所示，當(dāng)燒結(jié)端面彎曲的間隔壁材料102b時(shí)，如圖12(E)所示，間隔壁112的端部比其它部分高。具體地說(shuō)，在高度的設(shè)計(jì)值為140μm的間隔壁中，在燒結(jié)前約具有200μm的高度，通過(guò)燒結(jié)，高度約減少到70％，同時(shí)，端部比其它部分高出約30μm。這種現(xiàn)象稱之為“上沖”，這是由于其底部貼緊在玻璃基板101上，其收縮受到約束，與此相對(duì)的，其頂部是自由的造成的。上沖在將具有間隔壁112的基板和其它基板重疊組裝成PDP時(shí)，會(huì)使基板彼此之間不能完全貼緊。在本應(yīng)貼緊的面之間有間隙的PDP中，隨著外加用于顯示的高頻驅(qū)動(dòng)電壓造成的靜電吸引，基板會(huì)局部地振動(dòng)。由此，產(chǎn)生微小的動(dòng)作噪音(蜂鳴音)。通過(guò)對(duì)面板各部分的上沖量的相關(guān)研究發(fā)現(xiàn)，這種現(xiàn)象，通過(guò)將上沖量降低到目前的1/2、即16μm以下，從制造偏差的角度考慮，優(yōu)選地降低到12μm以下，可以防止這種現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是，形成一種不會(huì)產(chǎn)生妨礙基板彼此之間貼緊的突起的、在顯示區(qū)域形成一種圖形和高度符合設(shè)計(jì)要求的間隔壁。

根據(jù)發(fā)明的間隔壁的形成方法，在通過(guò)部分地將切削材料噴射到形成掩模的間隔壁材料上形成圖形時(shí)，以在顯示區(qū)域的外側(cè)形成與顯示區(qū)域中的間隔壁(主間隔壁)連接的副間隔壁的方式將間隔壁材料掩蔽，借此，使得在顯示區(qū)域的外側(cè)產(chǎn)生側(cè)面切削，并且，通過(guò)將副間隔壁制成網(wǎng)格狀圖形將易于側(cè)面切削的部位處在很寬的范圍內(nèi)，降低側(cè)面切削的深度。如果側(cè)面切削是輕微的話，則難于引起剝離，并且在燒結(jié)時(shí)幾乎沒(méi)有上沖。