[發(fā)明專利]減壓容器、減壓處理裝置以及減壓容器的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710103865.0
• 申請日: 2007-05-17
• 公開（公告）號: CN101108328A
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山田洋平
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: B01J3/00
• 分類號: B01J3/00;B01J3/03;C23C14/44;C23C16/00;F16J12/00
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及減壓容器(也包括真空容器，以下同)的密封技術(shù)，例如，對以液晶顯示裝置(LCD)或等離子體顯示器等為代表的平板顯示器(FPD)用的玻璃基板等，在減壓下進(jìn)行干法蝕刻或成膜、搬送、定位等處理時使用的減壓容器的密封技術(shù)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)的真空容器，從確保對大氣壓的耐久性和氣密性的觀點(diǎn)出發(fā)，采用了通過機(jī)械加工從原料塊體削出容器的方法、或者通過焊接或釬焊接合板材的方法來制造真空容器。但是，通過機(jī)械進(jìn)行切削加工時，由于從材料切削出相當(dāng)于容積大小的量，因而存在加工時間長，材料浪費(fèi)多的問題。另外，利用焊接或者釬焊的方法，由于需要除去因熱量而造成的變形，或需要進(jìn)行精加工，因而存在制作成本高的問題。

然而，近年，隨著被處理基板的大型化，處理腔室自身的尺寸也隨之大型化。例如，F(xiàn)PD的生產(chǎn)過程中，將長邊長度超過2m的矩形大型玻璃基板收容在處理腔室內(nèi)，在真空狀態(tài)下進(jìn)行蝕刻或灰化、成膜等處理。另外，對于在真空狀態(tài)下對這樣的大型玻璃基板進(jìn)行處理的真空容器來說，必須在由鋁等形成的金屬制容器的內(nèi)部成為真空的狀態(tài)下，確保其能夠抵抗大氣壓的充分剛性。

因此，在由現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械加工或焊接等制造的一體型結(jié)構(gòu)的真空容器中，由于為了提高剛性必須使容器的壁具有充分的厚度，從而造成重量的增加，并且，由于需要通過大型機(jī)械進(jìn)行加工，導(dǎo)致制造成本增加的問題。另外，當(dāng)真空容器超過規(guī)定的尺寸而大型化時，在搬送時受到法律上的限制，存在因搬送而經(jīng)費(fèi)增加的問題。

作為通過除機(jī)械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技術(shù)，例如具有提案為采用如下部件的真空容器：通過結(jié)構(gòu)螺栓堅固接合成箱形的多個板材、從內(nèi)側(cè)沿各個板材的接合線連續(xù)設(shè)置的密封部件、以及朝向所述接合線按壓所述密封部件并為了氣密性密封而通過結(jié)合螺栓進(jìn)行安裝的按壓部件。(例如，專利文獻(xiàn)1)

另外，也具有如下提案的技術(shù)，具有相互接合端面并構(gòu)成沿周邊方向閉合的中空框體的四個以上側(cè)面部件、以及被設(shè)置在該中空框體的頂面以及底面并進(jìn)行接合的頂面部件和底面部件，在各部件鄰接的相互接合面之間設(shè)置密封部件并構(gòu)成整體化容器(例如，專利文獻(xiàn)2)。

專利文獻(xiàn)1；日本特開平9-209150號公報(圖4等)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2004-286165號公報(圖1等)

所述專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2的真空容器，由于由板材和密封部件而構(gòu)成，因而可以在設(shè)置地點(diǎn)進(jìn)行組裝，并且搬送時的限制也較少。另外，與通過現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械加工或焊接等制作真空容器的情形相比，具有能夠?qū)崿F(xiàn)低成本的優(yōu)點(diǎn)。

但是，對于如專利文件1所述的通過組合板材并進(jìn)行接合所形成的真空容器而言，存在難以確保容器內(nèi)部轉(zhuǎn)角處的密封性的問題。例如，專利文獻(xiàn)1中，在轉(zhuǎn)角處的三片板材的接合部分上，沿板材的接合線，使用在三個方向相互呈直角折曲的分枝形狀的密封部件。但是，這種分枝形的密封部件，在制造時需要立體模具，因而無法避免成本的增加。

另外，在專利文獻(xiàn)1的密封部件中，需要將人造橡膠以一定的壓力壓入板材接合線。但是，在由三片板材構(gòu)成的轉(zhuǎn)角部，難以充分按壓所述分枝形的密封部件，最糟糕的情況是可能無法維持真空狀態(tài)。

另外，在專利文獻(xiàn)2所記載的密封部件中，由于采取在各部件鄰接的接合面之間設(shè)置密封部件的結(jié)構(gòu)，為了更換密封部件必須分解容器，因而存在難以對于作為消耗品的密封部件進(jìn)行維修的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其目的在于提供一種通過接合多片板材而構(gòu)成的，并充分確保接合部氣密性的減壓容器。

為解決所述問題，本發(fā)明的第一個觀點(diǎn)是提供一種接合多個部件而構(gòu)成的減壓容器，所述部件之間的接合部形成在離開所述減壓容器轉(zhuǎn)角部的位置上，由密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封所述接合部。

本發(fā)明的第二個觀點(diǎn)是提供一種通過接合多個部件而構(gòu)成的減壓容器，在接合所述側(cè)板之間的所有接合部中，其兩側(cè)的內(nèi)壁面夾著該接合部形成在大致同一平面上，通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封所述接合部。

本發(fā)明的第三個觀點(diǎn)是提供一種通過接合包括端部折曲形成的板材和平板在內(nèi)的多個部件而構(gòu)成的減壓容器，

具有通過所述端部形成折曲的板材和與該板材接合的所述平板而形成的轉(zhuǎn)角部，并且，

通過相互鄰接的三個部件而形成的接合部形成在離開所述轉(zhuǎn)角部的位置上，

通過密封部件從所述減壓容器的內(nèi)側(cè)密封接合所述部件之間的接合部。