[發明專利]激光加工裝置無效
| 申請號： | 200710103325.2 | 申請日： | 2007-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN101073855A | 公開（公告）日： | 2007-11-21 |
| 發明（設計）人： | 森數洋司 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪斯科 |
| 主分類號： | B23K26/06 | 分類號： | B23K26/06;B23K26/04;B23K26/38 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳英俊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光加工裝置，具備保持被加工物的卡盤臺和對保持在該卡盤臺上的被加工物照射脈沖激光光束的激光光束照射機構，該激光光束照射機構具備激光光束振蕩機構和將由該激光光束振蕩機構振蕩的激光光束聚光的聚光物鏡，上述激光加工裝置的特征在于，
具備微弱聚光機構，該微弱聚光機構配置在該激光光束振蕩機構和該聚光物鏡之間并進行聚光，使從該激光光束振蕩機構振蕩并入射到該聚光物鏡的激光光束的光斑的實質上的NA值成為0.02以下。
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