[發明專利]使用兩件式蓋子保護模版的系統和方法

有效

• 申請號: 200710102348.1
• 申請日: 2003-02-21
• 公開（公告）號: CN101105636A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 圣地亞哥·E·德爾·普埃爾托;埃里克·R·盧普斯特拉;安德魯·馬薩爾;杜安·P·基什;阿卜杜拉·阿里汗;伍德羅·J·奧爾松;喬納森·H·費羅斯
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00;G03F1/14;G03F9/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 王波波

1.一種方法，包括：

(a)用一可拆卸顆粒蓋子組件覆蓋一模版的第一部分，以形成一 種裝置，該裝置保護該模版的第一部分不受污染；在對該模版進行曝 光之前，當該模版處于曝光位置時，該可拆卸顆粒蓋子組件的一部分 可移動離開該模版；

(b)將該裝置封閉在一盒子內，該盒子具有一承載部分和一能與 該承載部分分開的罩，該盒子保護該模版不受污染；和

(c)傳送該盒子內的該裝置。

2.根據權利要求1所述的方法，還包括：

使用一氣體密封裝置來防止該承載部分與該罩之間的氣體流動； 和

使用一閂鎖來將該罩可拆卸地固定至該承載部分。

3.根據權利要求2所述的方法，還包括：

使用一處于該罩內側的頂，該頂基本上防止該盒子內的顆粒到達 該模版；和

使用一顆粒密封裝置來基本上防止該頂與該承載部分之間的顆粒 流動。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，該氣體密封裝置與該顆粒密 封裝置的工作順序地發生。

5.根據權利要求3所述的方法，其中：

當閉合該盒子時，在該氣體密封裝置開始壓縮之前，該顆粒密封 裝置被至少部分地嚙合；和

當打開該盒子時，在該顆粒密封裝置開始松開之前，該氣體密封 裝置基本上被解壓，并且與該罩和該承載部分中的至少一個分開。

6.根據權利要求4所述的方法，還包括：

使用一種裝置將該頂聯接至該罩，該裝置包括至少一個彈簧，在 閉合該盒子的過程中，當該罩接近該承載部分時，該彈簧在該顆粒密 封裝置上施加壓力，其中，該顆粒密封裝置是可壓縮的。

7.根據權利要求6所述的方法，還包括：

使用另一彈簧來將該模版壓靠在該承載部分上，以在傳送過程中 固定該模版，其中，該另一彈簧聯接至該頂的內側。

8.根據權利要求3所述的方法，還包括：

使用一通道來允許氣體從在該頂與該承載部分之間形成的密封腔 流動至該盒子的其余內部空間以及返回。

9.根據權利要求1所述的方法，還包括：

將該可拆卸顆粒蓋子組件固定至處于曝光位置的平臺。

10.根據權利要求1所述的方法，其中，該模版包括反射型模版。

11.一種用于保持反射型掩模的框架，該框架為矩形并且基本上繞 該掩模的邊緣包圍該掩模，從而保持該掩模的反射表面敞開，該框架 包括緣邊，該緣邊在該掩模的反射表面的邊緣處支撐該掩模。

12.根據權利要求11所述的框架，其中，該框架具有適合于與一閂 鎖相協作的舌片。

13.根據權利要求11所述的框架，其中，該框架具有定位配件，該 定位配件接觸該掩模，從而相對于該框架定位該掩模。

14.根據權利要求11所述的框架，其中，該定位配件設于該框架的 至少一個角部。

15.根據權利要求11所述的框架，具有與運動定位器相協作的孔。

16.一種兩部件式蓋子，包括按照權利要求11的框架以及一板，該 板與該掩模的反射表面的尺寸基本相同，該板具有面向該掩模的第一 側以及背離該掩模的第二側。

17.根據權利要求16所述的兩部件式蓋子，其中，該板具有運動定 位器，該運動定位器從該板的第一側伸出并接觸該框架。

18.根據權利要求16所述的兩部件式蓋子，其中，該板是透明的， 以允許檢查該掩模的反射表面。

19.一種蓋子，用于覆蓋具有反射表面的模版，該蓋子包括一板， 該板與所述反射表面的尺寸基本相同，并且在使用時保持成與所述反 射表面基本平行，該板允許對該模版的反射表面進行檢查，并且具有 一框架部分，該框架部分具有定位配件，以便接觸該模版的邊緣，從 而相對于該板定位該模版。