[發明專利]具有溫度開關的粒子光學設備

有效

• 申請號: 200710102334.X
• 申請日: 2007-04-30
• 公開（公告）號: CN101067993A
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: G·J·范德沃特;P·M·霍克斯
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 溫大鵬

1.一種粒子光學設備，所述粒子光學設備中裝備有：

具有末端(20)的樣品保持器(7)，所述末端具體體現為具有附接到所述末端上的樣品(34)；

用于保持所述設備的冷源(22)處于接近液氮溫度或者液氦溫度的低溫溫度的冷卻設施(26、28)，和；

用于通過將所述樣品保持器(7)的所述末端(20)熱連接至所述冷源(22)而對所述樣品保持器(7)的所述末端(20)進行冷卻的熱連接裝置(30)，

其特征在于，

所述熱連接裝置包括熱控開關(40)，所述熱控開關(40)具有通過不同導熱性來區分的至少兩種不同的狀態，所述至少兩種不同的狀態中的第一種狀態使所述末端連接至所述冷源并且所述至少兩種不同的狀態中的第二種狀態使所述末端連接至設備的一部分上，所述設備的該部分的溫度與所述冷源的溫度不同。

2.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述設備的該部分為所述設備的具體體現為被保持處于室溫的部分。

3.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述設備的該部分為所述設備的具體體現為借助于加熱裝置被保持處于高于室溫的一定溫度的部分。

4.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述設備的該部分為所述設備的具體體現為被保持處于所述冷源的溫度與室溫之間的一定溫度的部分。

5.根據權利要求4所述的粒子光學設備，其中所述設備的所述部分借助于珀耳貼冷卻效應被保持處于所述冷源的溫度與室溫之間的一定溫度。

6.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述至少兩種不同的狀態也能夠通過從所述樣品保持器(7)的所述末端(20)到所述設備(17)在室溫下的部分的不同導熱性來進行區分。

7.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述冷卻設施(26、28)具體體現為使所述冷源(22)保持處于低溫溫度。

8.根據權利要求7所述的粒子光學設備，其中所述冷卻設施(26、28)具體體現為通過允許液體蒸發而使所述冷源(22)保持處于低溫溫度。

9.根據權利要求8所述的粒子光學設備，其中所述蒸發液體為液氮或液氦。

10.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述熱控開關(40)包括能夠以機械方式產生位移的元件(42)。

11.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述熱控開關(40)具有兩種以上不同的狀態，所述狀態由于從所述樣品保持器(7)的所述末端(20)到所述設備不同部分的所述導熱性不同而區分開，所述設備的所述不同部分具體體現為具有彼此不同的溫度。

12.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述樣品保持器(7)包括加熱裝置。

13.根據權利要求1所述的粒子光學設備，其中所述粒子光學設備包括粒子鏡筒，所述粒子鏡筒來自于透射電子鏡筒(TEM鏡筒)、掃描透射電子鏡筒(STEM鏡筒)、掃描電子鏡筒(SEM鏡筒)和聚焦離子束鏡筒(FIB鏡筒)的組群。