[發明專利]位置測量裝置

有效

• 申請號: 200710102328.4
• 申請日: 2007-04-30
• 公開（公告）號: CN101067560A
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: U·本納
• 申請（專利權）人: 約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
• 主分類號: G01D5/34
• 分類號: G01D5/34;G01R31/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曹若;劉華聯

1.用于檢測掃描單元與相對于該掃描單元在至少一個測量方向上移動的反射整體量具之間的相對位置的位置測量裝置，其中所述掃描單元包括光源以及在檢測平面中的至少一個檢測器裝置，其特征在于，此外在所述掃描單元(20；200)中在掃描光路中布置至少一個反射器元件(25；25’；250；RE)，該反射器元件具有作用于所述掃描光路的光學作用，使得一方面在虛擬光源和所述反射整體量具(10；100)之間的間距(u)與另一方面在所述反射整體量具(10；100)和所述檢測平面(D)之間的間距(v)相同，由此將所述光源(24；240)虛擬地布置在所述檢測平面(D)中。

2.按權利要求1所述的位置測量裝置，其特征在于，在掃描光路中，所述反射器元件(25；25’；250；RE)布置在所述光源(24；240)和反射整體量具(10；100)之間。

3.按權利要求1所述的位置測量裝置，其特征在于，所述反射器元件(25；25’；250；RE)是衍射光學元件。

4.按前述權利要求中至少一項所述的位置測量裝置，其特征在于，所述掃描單元(20；200)包括透明的載體基片(23；230)，

-在該載體基片的朝向所述反射整體量具(10；100)的稱為第一側面的上面上布置所述光源(24；240)并且

-在該載體基片的背向所述反射整體量具(10；100)的稱為第二側面的底面上布置所述反射器元件(25；25’；250；RE)。

5.按權利要求4所述的位置測量裝置，其特征在于，所述光源(24；240)的發光表面朝所述載體基片(23；230)的第一側面的方向布置，并且所述光源(24；240)朝所述載體基片(23；230)的第二側面的方向發出光線。

6.按權利要求4所述的位置測量裝置，其特征在于，所述反射器元件(25；25’；250；RE)是集成在所述載體基片(23；230)的第二側面中的光學元件。

7.按權利要求4所述的位置測量裝置，其特征在于，所述具有光源(24；240)以及反射器元件(25；25’；250；RE)的載體基片(23；230)布置在具有至少一個檢測器裝置(22.1、22.2；221、222)的檢測器單元(22；220)上面，其中所述檢測器單元(22；220)布置在所述掃描單元(20；200)中的載體板(21；210)上。

8.按權利要求7所述的位置測量裝置，其特征在于，所述載體基片(23)占據比檢測器單元(22)更小的面積，并且布置在所述檢測器單元(22)的中央局部區域中，而沒有完全蓋住所述檢測器裝置(22.1、22.2)，從而所述檢測器單元(22)在沒有被所述載體基片(23)所覆蓋的區域中通過鍵合導線(22.3)與所述載體板(21)中的導體電路導電連接。

9.按權利要求8所述的位置測量裝置，其特征在于，在所述載體基片(23)上的光源(24)通過鍵合導線(24.1)與所述檢測器單元(22)中的導體電路導電連接。

10.按權利要求7所述的位置測量裝置，其特征在于，所述載體基片(230)部分覆蓋所述檢測器單元(220)上的所述至少一個檢測器裝置(221；222)，其中為對所述至少一個檢測器裝置(221、222)進行電接觸在所述載體基片(230)的第二側面和檢測器裝置(221、222)之間布置接觸-導體電路(223)。

11.按權利要求10所述的位置測量裝置，其特征在于，所述在載體基片(230)上的光源(240)通過載體基片(230)上的接觸-導體電路與檢測器單元(220)中的導體電路導電連接。