[發明專利]密封部件,減壓容器及其密封機構、制造方法與減壓裝置

有效

• 申請號: 200710102215.4
• 申請日: 2007-04-27
• 公開（公告）號: CN101091894A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發明（設計）人: 山田洋平
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B01J3/03
• 分類號: B01J3/03
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及減壓容器(也包括真空容器。以下為相同意思)的密封技術，例如，涉及在減壓下，對以液晶顯示裝置(LCD)或等離子顯示器等為代表的平板顯示器(FPD)用玻璃基板等進行干法刻蝕(dryetching)或成膜、搬送、定位對準等處理時使用的減壓容器的密封技術。

背景技術

在現有技術中，從確保對大氣壓的耐久性及氣密性的角度考慮，采用了通過機械加工從原料塊體中削出容器的方法、或通過焊接板材或釬焊等接合方法來制造真空容器。但是，通過機械進行切削加工時，由于從材料切削出相當于容積大小的量，所以存在加工時間長，材料浪費多的問題。另外，在利用焊接或釬焊的方法中，由于需要除去熱量輸入而造成的彎曲，或需要進行精加工，因而存在制作成本增高的問題。

然而，近年來，隨著被處理基板的大型化處理腔室本身的尺寸也隨之大型化。例如，FPD的生產過程中，將長邊長度超過2m的矩形大型玻璃基板收容在處理腔室內，在真空狀態下進行蝕刻或灰化、成膜等處理。另外，在真空狀態下對如此大型玻璃基板進行處理的真空容器中，必須使其在使由鋁等形成的金屬制容器的內部為真空的狀態下確保能夠抵抗大氣壓的充分的剛性。

因此，由現有技術的機械加工或焊接等制造的一體型結構的真空容器中，由于必須使容器的壁具有充分的厚度，從而伴隨重量的增大，同時，由于需要通過大型機械加工，導致制造成本增加的問題。另外，當真空容器超過規定的尺寸而大型化時，在搬送時受到法規上的限制，存在伴隨搬送的經費增加的問題。

作為通過除機械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技術，例如提案有采用如下部件的真空容器，通過結構螺栓堅固接合成箱形的多個板材、從內側沿各個板材的接合線連續設置的密封部件、以及為了朝向所述接合線按壓所述密封部件進行氣密性密封而由結合螺栓進行安裝的按壓部件(例如，專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開平9-209150號公報(圖4等)

所述專利文獻1的真空容器，由于由板材和密封部件而構成，因而可以在安裝地點進行組裝，并且搬送時的限制較少。另外，與通過現有技術的機械加工或焊接等制作真空容器的情形相比，存在可以實現低成本的優點。但是，對于如專利文獻1所述的通過使板材組合、進行接合而形成的真空容器而言，存在難以確保容器內部轉角處的密封性的問題。

例如，專利文獻1中，在轉角處的三片板材的接合部分，使用了沿板材的接合線在三個方向相互呈直角彎曲的分支形的密封部件。但是，這種分支形的密封部件，在制造時需要立體模具，因而無法避免成本的增加。

另外，專利文獻1的密封機構中，是通過以一定的壓力相對于板材接合線按壓合成橡膠(elastomer)而獲得密封性的。但是，在由三片板材構成的真空腔室的轉角部，難以充分按壓所述分支形的密封部件，最糟糕的情況是可能無法維持真空狀態。

發明內容

本發明是鑒于上述現有技術的問題而提出的，其目的在于提供一種在接合多片板材而構成的真空容器中，能夠充分確保轉角處密封性的密封機構。

為解決上述問題，本發明的第一的觀點提供一種密封部件，是從內側密封接合多片板材而構成的減壓容器的接合部的密封部件，其特征在于，包括：環線形狀部，以包圍上述減壓容器的轉角部的方式配置，通過將其壓接在形成上述轉角部的多片上述板材的內壁面上，密封上述轉角部的周圍。

另外，本發明的第二個觀點提供一種密封部件，是從內側密封接合多片板材而構成的減壓容器的接合部的密封部件，其特征在于，包括：

密封形成為直線形的上述接合部的直線形狀部；以及

環線形狀部，與上述直線形狀部鄰接，構成為環線狀，上述環線形狀部以包圍上述減壓容器的轉角部的方式配置，通過將其壓接在形成上述轉角部的多片上述板材的內壁面上，密封上述轉角部的周圍。

在上述第二個觀點中，優選在密封狀態下，上述直線形狀部在上述減壓容器轉角部附近與上述環線形狀部連接配置。此時，優選以在密封狀態下使上述環線形狀部相對于鄰接的上述直線形狀部所成的角度為鈍角的方式配置上述環線形狀部。另外，優選上述直線形狀部與上述環線形狀部連接為一體。

另外，在上述第一以及第二個觀點中，優選以在密封狀態下使上述環線形狀部相對于形成上述轉角部的上述板材的接合線所成的角度為鈍角的方式配置上述環線形狀部。另外，上述環線形狀部也可以形成為圓環形或多角形。并且，上述環線形狀部也可以通過以下部件固定，即被固定在上述減壓容器的轉角部上，具有支承該環線形狀部的支承面的支承塊；以及