[發明專利]基板檢測裝置

無效

• 申請號: 200710098227.4
• 申請日: 2007-04-13
• 公開（公告）號: CN101285783A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 鄭益騏;王政宏;周美惠;林煜斌;蘇振平
• 申請（專利權）人: 華泰電子股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01R31/302;H01L21/66
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司
• 代理人: 周建秋;王鳳桐

1.一種基板檢測裝置，包括：

底座；

兩個支撐件，所述兩個支撐件由該底座向上延伸并相對設置，并且界定出觀測開口及檢測開口，當待檢測的基板放置于所述兩個支撐件之間時，該基板位于該檢測開口中；及

反射鏡，所述反射鏡設置于所述兩個支撐件之間，并可繞旋轉軸旋轉，以將該檢測開口中的基板影像反射至該觀測開口。

2.如權利要求1所述的基板檢測裝置，其中，所述兩個支撐件上還設置有承置架，該承置架跨設于所述兩個支撐件之間，以在所述兩個支撐件間圍構出該檢測開口。

3.如權利要求2所述的基板檢測裝置，其中，該待檢測的基板以正面朝上的方式放置于該承置架上，該反射鏡通過該檢測開口接收該待檢測基板的背面影像。

4.如權利要求3所述的基板檢測裝置，還包括：

光源，所述光源設置于所述兩個支撐件之間，用以照亮待檢測基板的背面。

5.如權利要求1所述的基板檢測裝置，還包括：

旋鈕，所述旋鈕設置于其中一個支撐件上，用以控制該反射鏡繞該旋轉軸旋轉的角度。

6.如權利要求2所述的基板檢測裝置，其中，該承置架由兩個相互平行的桿件構成，各桿件跨設于所述兩個支撐件上。

7.如權利要求6所述的基板檢測裝置，其中，所述兩個桿件的相對側的上表面形成有平行于各桿件的凹部。

8.如權利要求6所述的基板檢測裝置，其中，所述兩個桿件中的其中一個可在所述支撐件上移動，以調整兩桿件間的距離。

9.如權利要求8所述的基板檢測裝置，其中，該可移動的桿件可滑動地設置于所述支撐件上。

10.如權利要求9所述的基板檢測裝置，還包括：

兩個旋鈕，所述兩個旋鈕分別用以將該可滑動的桿件固定于所述兩個支撐件上。

11.如權利要求6所述的基板檢測裝置，其中，各桿件中央處的上表面形成有通至所述凹部的缺口。

12.如權利要求4所述的基板檢測裝置，其中，所述兩個支撐件為相對設置于該底座的第一片狀結構，該基板檢測裝置還包括兩個設置于該底座上的第二片狀結構，所述第二片狀結構與所述第一片狀結構共同將光源圈圍住。