[發(fā)明專利]圖像顯示系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710098085.1
• 申請(qǐng)日: 2007-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN101075635A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹川逸;曾章和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 統(tǒng)寶光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 陶鳳波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種電激發(fā)光元件及其制造方法，特別是關(guān)于一種具有不同溝道厚度的有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件及其制造方法。?

背景技術(shù)

近年來(lái)，隨著電子產(chǎn)品(例如，移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理、筆記型電腦)的發(fā)展及廣泛應(yīng)用，對(duì)于低耗能及更輕薄的平面顯示元件的需求日益加增。有機(jī)電激發(fā)光元件由于具有自發(fā)光、高亮度、更廣的視角、更快的應(yīng)答速度、及工藝簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)，因此成為顯示科技產(chǎn)業(yè)中的絕佳選擇。?

有機(jī)電激發(fā)光元件采用一有機(jī)電激發(fā)光層，使得其本身在顯示科技產(chǎn)業(yè)中相較于其它顯示器而言具有更高的發(fā)光效率及更長(zhǎng)的壽命。有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件具有面發(fā)光且自發(fā)光的功能，并具有輕薄特性、以及高發(fā)光效率、低驅(qū)動(dòng)電壓、廣視角、高對(duì)比、高應(yīng)答速度、可撓曲、與全彩化的優(yōu)點(diǎn)。所以，隨著使用者對(duì)于更大尺寸與更高解析度的顯示器的需求日益提高，有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件正好符合主流市場(chǎng)的趨勢(shì)。?

就傳統(tǒng)電激發(fā)光元件工藝而言，基于簡(jiǎn)化工藝的考量，通常會(huì)形成單一厚度的半導(dǎo)體層。也就是說(shuō)，在同一個(gè)次像素區(qū)域內(nèi)，面板周邊驅(qū)動(dòng)電路、薄膜晶體管、與儲(chǔ)存電容器的半導(dǎo)體層會(huì)同時(shí)形成至一所欲的厚度。例如，美國(guó)專利案第6,337,232號(hào)揭示一種具有薄溝道區(qū)的結(jié)晶硅薄膜半導(dǎo)體。在所揭露的電激發(fā)光元件中，形成一包含硅的半導(dǎo)體膜。在半導(dǎo)體膜的結(jié)晶工藝后，進(jìn)行結(jié)晶化半導(dǎo)體膜的圖案化工藝，而同時(shí)形成一標(biāo)記(marker)部分與一孤立的(insular)部分。尤其是，一部分欲作為溝道形成區(qū)域的半導(dǎo)體膜被薄化至300埃或更小的厚度。?

傳統(tǒng)電激發(fā)光元件遭遇到所謂“顯示不均(mura)”的問(wèn)題，而這個(gè)問(wèn)題是由于次像素之間的驅(qū)動(dòng)晶體管具有不同場(chǎng)效遷移率所引起的。因此，業(yè)界亟需一種可以解決上述問(wèn)題的電激發(fā)光元件。?

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例提供一種圖像顯示系統(tǒng)，包括：有源矩陣式電激發(fā)光元件，包括：像素區(qū)，包括多個(gè)次像素，且每一個(gè)次像素包括：開關(guān)區(qū)以及驅(qū)動(dòng)區(qū)；開關(guān)薄膜晶體管，置于該開關(guān)區(qū)，且包括第一硅層，其中該第一硅層具有第一厚度；以及驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管，置于該驅(qū)動(dòng)區(qū)，且包括第二硅層，其中該第二硅層具有第二厚度；其中，該第一厚度與該第二厚度的差異至少超過(guò)10％。在其它實(shí)施例中，該第一厚度與該第二厚度的差異可以介于10％與200％之間、10％與150％之間、10％與100％之間、10％與70％之間、或10％與40％之間。?

本發(fā)明其它優(yōu)選實(shí)施例的系統(tǒng)還包括電子元件，其中該電子元件包括：顯示面板；以及耦接至該顯示面板的輸入單元，且該輸入單元用以提供一輸入信號(hào)至該顯示面板，因而該顯示面板顯示圖像。該電子元件可以是移動(dòng)電話、數(shù)碼相機(jī)、個(gè)人數(shù)字助理、筆記型電腦、桌上型電腦、電視、車上顯示器或可攜式數(shù)位多功能光碟播放機(jī)。?

由于在同一個(gè)次像素中開關(guān)薄膜晶體管的溝道與驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的溝道具有厚度差的緣故，因此薄膜晶體管的場(chǎng)效遷移率(field-effect?mobility)得以調(diào)整。尤其是，當(dāng)驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管形成一較開關(guān)薄膜晶體管厚的溝道時(shí)，則可以降低驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的場(chǎng)效遷移率。因此，驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管會(huì)具有較好的驅(qū)動(dòng)電流分布，而且有機(jī)電激發(fā)光二極管可以均一地發(fā)光。而且，依據(jù)不同的電性考量，顯示面板的周邊驅(qū)動(dòng)電路可以采用各種多晶硅厚度。?

附圖說(shuō)明

圖1是繪示有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件中一個(gè)次像素的等效電路圖；?

圖2a～2g是繪示本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例中包含有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件的圖像顯示系統(tǒng)的制造方法的剖面圖；?

圖3a～3g是繪示本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例中包含有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件的圖像顯示系統(tǒng)的制造方法的剖面圖；?

圖4a～4h是繪示本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例中包含有源矩陣式有機(jī)電激發(fā)光元件的圖像顯示系統(tǒng)的制造方法的剖面圖；?

圖5繪示本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例中用于顯示圖像的系統(tǒng)。?

主要元件符號(hào)說(shuō)明?