[發明專利]動態量測干涉信號解析的方法有效
| 申請號： | 200710097698.3 | 申請日： | 2007-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN101294791A | 公開（公告）日： | 2008-10-29 |
| 發明（設計）人： | 陳亮嘉;張中柱;黃耀庭;陳金亮 | 申請（專利權）人： | 財團法人工業技術研究院 |
| 主分類號： | G01B9/023 | 分類號： | G01B9/023 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 動態 干涉 信號 解析 方法 | ||
1.一種動態干涉信號解析的方法，適用于量測一待測物的動態特性與動態時的表面輪廓，其特征在于，該動態干涉信號解析的方法包括：
該待測物振動時，擷取一動態干涉信號；
對該動態干涉信號進行一反褶積運算，以求得一還原動態干涉信號，其中對該動態干涉信號進行該反褶積運算的步驟包括：
將一頻閃脈沖光束的強度由時域轉換為頻域；
將該動態干涉信號由時域轉換至頻域；
于頻域中，計算該動態干涉信號除以該頻閃脈沖光束的強度；以及
對該動態干涉信號除以該頻閃脈沖光束的強度的值進行由頻域轉為時域的一反轉換運算以求得該還原動態干涉信號。
2.如權利要求1所述的動態干涉信號解析的方法，其特征在于，其中該反褶積運算包括由頻域與時域互轉的運算。
3.如權利要求1所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中該反轉換運算為反傅利葉轉換運算。
4.如權利要求1所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中還包括對該還原動態干涉信號進行三維輪廓重建，以求得該待測物的表面輪廓影像。
5.如權利要求1所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中是配合一干涉量測裝置而動態量測該待測物的動態特性與動態時的表面輪廓，且該干涉量測裝置為Mirau式干涉儀、Michelson式干涉儀或Linnik式干涉儀。
6.一種動態量測干涉信號解析的方法，適用于量測一待測物于動態時的表面輪廓及該待測物的振動模態，其特征在于，該動態量測干涉信號解析的方法包括：
設定一頻閃脈沖光束的相位；
自該待測物的表面輪廓擷取一動態干涉信號；
對該動態干涉信號進行一反褶積運算，以求得一還原動態干涉信號；
對該還原動態干涉信號進行三維輪廓重建，以求得該待測物的一表面輪廓影像；以及
改變該頻閃脈沖光束的相位，再對待測物于振動中的其他相位進行測量。
7.如權利要求6所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中該反褶積運算還包括由頻域與時域互轉的運算。
8.如權利要求6所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中對該動態干涉信號進行該反褶積運算的步驟包括：
將該頻閃脈沖光束的強度由時域轉換為頻域；
將該動態干涉信號由時域轉換至頻域；
于頻域中，計算該動態干涉信號除以該頻閃脈沖光束的強度；以及
對該動態干涉信號除以該頻閃脈沖光束的強度的值進行由頻域轉為時域的一反轉換運算以求得該還原動態干涉信號。
9.如權利要求8所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中該反轉換運算為反傅利葉轉換運算。
10.如權利要求6所述的動態量測干涉信號解析的方法，其特征在于，其中是配合一干涉量測裝置而動態量測該待測物的動態特性與動態時的表面輪廓，且該干涉量測裝置為Mirau式干涉儀、Michelson式干涉儀或Linnik式干涉儀。
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