[發明專利]狹縫式涂敷裝置

有效

• 申請號: 200710097602.3
• 申請日: 2007-04-20
• 公開（公告）號: CN101135855A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 金銀洙;姜智銀;吳相澤
• 申請（專利權）人: 顯示器生產服務株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃威;徐金偉

1.一種狹縫式涂敷裝置，其特征在于，該涂敷裝置包括：

工作臺，其工作面上進行對基板的涂敷作業；

噴嘴本體，其具有狹縫式吐出口，且固定在所述工作臺的一側，并且對沿所述工作面移動的基板涂敷感光液；

清洗輥輪，其具有圓筒形清洗部件，且以橫穿吐出口切開方向的方式位于所述噴嘴本體的下方；

第一驅動部，其用于向一個方向轉動所述清洗輥輪，使圓筒形清洗部件以其軸線為中心旋轉；

第二驅動部，其用于移動所述清洗輥輪，以使所述清洗輥輪在第一驅動部的驅動作用下旋轉的同時，沿所述吐出口的切開方向移動；

第三驅動部，其與第一驅動部及第二驅動部相連動，以使所述清洗輥輪向直交于所述吐出口狹縫的方向移動。

2.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

通過所述各驅動部的連動，所述清洗輥輪三個不同方向的去除動作相結合，以使所述圓筒形清洗部件的圓周面與吐出口端部螺旋式接觸。

3.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述清洗部件使用三元乙丙橡膠制成。

4.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述第一驅動部使用電機，而所述清洗輥輪接受所述電機軸的傳動力，以其軸線為中心向一特定方向旋轉。

5.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述第二驅動部或第三驅動部可選用移送用流體壓力缸、直線導軌、與電機相連的齒條齒輪、輸送螺桿中的任何一種。

6.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述清洗輥輪的長度大于吐出口的狹縫寬度，小于狹縫長度。

7.根據權利要求1所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述涂敷裝置進一步包括形成在所述圓筒形清洗部件圓周面上的螺旋狀導槽。

8.根據權利要求7所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述導槽的槽深及寬度正好適于容納所述吐出口狹縫，并可與吐出口兩側壁相接觸。

9.一種狹縫式涂敷裝置，其特征在于，該涂敷裝置包括：

工作臺，其工作面上進行對基板的涂敷作業；

噴嘴本體，其具有狹縫式吐出口，且固定在所述工作臺的一側，并且對沿所述工作面移動的基板涂敷感光液；

清洗輥輪，其具有圓筒形清洗部件，且以橫穿所述吐出口切開方向的方式位于所述噴嘴本體的下方；

第一驅動部，其用于向一特定方向轉動所述清洗輥輪，以使圓筒形清洗部件以其軸線為中心旋轉；

第二驅動部，其與所述第一驅動部相連動，以使圓筒形清洗部件沿吐出口狹縫的對角線方向移動。

10.根據權利要求9所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

通過所述各驅動部的連動，所述清洗輥輪三個不同方向上的去除動作相結合，以使所述圓筒形清洗部件的圓周面與吐出口端部螺旋式接觸。

11.根據權利要求9所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述第一驅動部使用電機，而所述清洗輥輪接受所述電機軸的傳動力，以其軸線為中心向一個特定方向旋轉。

12.根據權利要求9所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述第二驅動部可選用移送用流體壓力缸、直線導軌、與電機相連的齒條齒輪、輸送螺桿中的任何一種。

13.根據權利要求9所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述清洗輥輪的長度大于吐出口狹縫寬度，小于狹縫長度。

14.根據權利要求9所述的狹縫式涂敷裝置，其特征在于：

所述涂敷裝置進一步包括形成在圓筒形清洗部件圓周面上的螺旋狀導槽。