[發明專利]襯底處理裝置

無效

• 申請號: 200710097046.X
• 申請日: 2007-04-12
• 公開（公告）號: CN101055836A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發明（設計）人: 全宗鎮
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 王玉雙

1.一種襯底處理裝置，包括：

室；

電極部分和襯底，該電極部分安裝在該室中并且該襯底裝在該電極部分上；

至少一個升降銷，以穿透該電極部分的方式安裝，并且所述升降銷的上端支撐裝在該電極部分上的該襯底；

銷托板，設置在該室的內部或外部，并且具有形成在該銷托板的孔的內圓周上的螺紋，所述升降銷的螺紋連接至該銷托板的螺紋，其中所述升降銷的螺紋形成在所述升降銷的外圓周上并且穿透該銷托板，以及通過旋轉所述升降銷上下移動所述升降銷；

驅動裝置，用于提升或降低該銷托板；以及該升降銷的下端伸出該銷托板的下方，并且在該升降銷的下端形成有用于旋轉該升降銷的工具插槽。

2.如權利要求1所述的裝置，其中通過將第一螺母緊固到位于該銷托板下方的所述升降銷的下端來固定按設定高度安裝的所述升降銷。

3.如權利要求2所述的裝置，其中在該第一螺母的下方還接著緊固第二螺母，以防止該第一螺母任意移動。

4.如權利要求1所述的裝置，還包括防護帽，該防護帽用于使所述升降銷的位于該銷托板下方的連接部分保持密封狀態。