[發明專利]利用笛卡爾電子束寫入系統寫大面積閉合曲線圖案的方法

有效

• 申請號: 200710096787.6
• 申請日: 2007-04-12
• 公開（公告）號: CN101055428A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發明（設計）人: 托馬斯·R·阿爾布雷克特;茲沃尼米爾·班迪克;邁克爾·J·魯克斯
• 申請（專利權）人: 日立環球儲存科技荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 張波

1.一種利用電子束即e束設備在樣品上寫入圖案的方法，該e束設備具有用于在與該e束基本正交的平面中移動該樣品的定位臺，該定位臺具有在x-y笛卡爾座標系中布置的多個方形域并能夠用e束定位每個域，將被寫入的該圖案定義處于多個鄰接域中的閉合曲線路徑，該方法包括：

在方形的第一域的頂點在該樣品上用該e束寫入多個第一對準標記以及在方形的第二域的頂點在該樣品上寫入多個第二對準標記，第一域和第二域不鄰接，且位于該曲線路徑上；

在該樣品上寫入該圖案的處于所述第一域內的部分；

在該樣品上寫入該圖案的處于所述第二域內的部分；

根據該第一和第二對準標記，通過計算該第一域和第二域的頂點之間的x和y偏移，調整所述第一和第二域之間的中間域的形狀以在所述第二域和所述第一域之間提供基本連續的連接；

用該e束定位該形狀調整后的所述中間域；以及

利用所計算的偏移通過掃描該e束至該形狀調整后的中間域內的子域以將該e束定位至所述子域，在該樣品上寫入該圖案的位于該形狀調整后的中間域內的部分，由此連接該圖案的位于該形狀調整后的中間域內的部分與該圖案的所述第一域中的部分和該圖案的所述第二域中的部分。

2.如權利要求1的方法，其中該中間域的非矩形形狀通過該方形的第一域的兩個頂點和該方形的第二域的兩個頂點定義。

3.如權利要求1的方法，其中存在m個鄰接域，其中該第一域是域1，其中該第二域是域m-1，且其中該形狀調整后的中間域是域m，且還包括順序寫入所述圖案的一部分，開始于域1并繼續到域m-1，且其中寫入該圖案的位于該形狀調整后的中間域m內的部分包括連接該圖案的在域m-1中的部分與該圖案的位于域1中的部分，由此閉合所述圖案。

4.如權利要求1的方法，其中將被寫入的該圖案是圓形圖案。

5.如權利要求4的方法，其中該樣品是用于納米壓印圖案化介質磁記錄盤的母盤。

6.一種利用電子束即e束設備在樣品上寫入圓形圖案的方法，該電子束設備具有用于在與該e束基本正交的平面中移動該樣品的定位臺，該定位臺具有在x-y笛卡爾座標系中布置的多個方形域并能夠用該e束定位每個域，每個域具有多個子域并且將被寫入的該圖案定義處于多個鄰接域中的圓形路徑，該方法包括：

用該e束定位該路徑的第一域；

在該樣品上在該第一域的頂點用e束寫入多個第一對準標記；

橫越該第一域的所述子域掃描該e束從而寫入該圖案的處于所述第一域內的部分；

用該e束順序定位該路徑的鄰接域并且對于每個鄰接域橫越所述子域掃描該e束從而寫入該圖案的處于所述鄰接域內的部分；

用該e束定位該路徑的倒數第二個域；

在該樣品上在該倒數第二個域的頂點用e束寫入多個第二對準標記；

橫越該倒數第二個域的所述子域掃描該e束從而寫入該圖案的處于該倒數第二個域內的部分；

根據該第一和第二對準標記計算第一域和倒數第二個域的頂點之間的x和y偏移，最后域的形狀由所述第一域的兩個頂點和該倒數第二個域的兩個頂點界定，所述第一域的該兩個頂點和該倒數第二個域的該兩個頂點相鄰；以及

利用所計算的x和y偏移橫越該最后域的子域掃描該e束，從而寫入該圖案的處于該最后域內的部分，以提供該圖案的該倒數第二個域中的部分與該圖案的寫入在該第一域中的部分基本連續的連接。

7.如權利要求6的方法，其中該樣品是用于納米壓印圖案化介質磁記錄盤的母盤。