[發明專利]閃光放電燈

有效

• 申請號: 200710096606.X
• 申請日: 2007-04-16
• 公開（公告）號: CN101075548A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 布施哲夫;莊所勝己;平石隆之
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J61/54
• 分類號: H01J61/54;H01J61/90
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 鐘強;關兆輝

技術領域

本發明涉及一種閃光放電燈，例如用于半導體基板或液晶基板的熱處理等中。特別是涉及在發光管的外表面上設有觸發電極的閃光放電燈。

背景技術

以往眾所周知的閃光放電燈有，在相對設置一對電極的發光管的外部具有觸發電極的閃光放電燈。

此外，周知的有如下燈：將觸發電極密封地設置在由石英玻璃構成的密封管的內部，并且將該密封管沿著閃光放電燈(以下也稱為“燈”)的發光管而設置。在特開2003-203606號中記載了這種技術。

利用圖7對現有的閃光放電燈進行說明。圖8是用于說明圖7的密封管的密封結構的放大截面圖。

該閃光放電燈在石英玻璃制的管型發光管2內設有一對電極1，在該燈的發光管2的外部，設有鎢制的金屬棒即觸發電極3。

觸發電極3被設置在由兩端密封的圓筒狀的石英玻璃構成的密封管4的內部。

觸發電極3的一端部31與金屬箔33連接，金屬箔33的另一端上連接有從密封管4突出的引線34，通過在該金屬箔33部分對密封管4進行壓潰密封，將觸發電極3密閉保持在密封管4內。在密封管4的內部填充有惰性氣體，或處于真空氛圍中，從而防止觸發電極3氧化。

而且，密封管4與發光管2由鎳制的固定部件5固定。另外，在圖8中省略了固定部件。

觸發電極3的一端部31通過對密封管4進行壓潰密封而固定在密封管4上，觸發電極3的另一端部32在密封管4的內部為自由端。因此，即使觸發電極3接收來自燈的光而發生膨脹，也可以利用另一端部32與密封管4的內壁的間隙來吸收該膨脹量。

這樣，由于觸發電極3密閉保持在密封管4的內部，因此可以防止觸發電極3的氧化，或者可以防止觸發電極3在高溫下飛濺時，構成觸發電極3的材料附著在發光管2上。其結果，還可以防止發光管2產生裂紋。

專利文獻1：特開2003-203606號公報

然而，這種閃光放電燈要求在1msec的短時間內將具有20J/cm²以上的能量的光照射到作為被處理物的半導體基板上，為了實現這一點，需要投入到閃光放電燈上的峰值能量高達5×10⁶W。

因此，從燈放射出的光具有高的能量，因此觸發電極3也瞬間達到高溫并膨脹，接著又收縮。即，伴隨著燈的發光，觸發電極3頻繁地反復膨脹收縮。

如圖8所示，在密封管4的密封部分，由于構成密封管4的石英玻璃與構成觸發電極3的鎢的膨脹系數不相同，因此在觸發電極3的周圍產生微小的間隙。而且，在用圖8的虛線表示的觸發電極3與金屬箔33的焊接部分A，反復施加膨脹收縮時的應力。

此外，在光從燈放射出來時，在燈的周圍空間產生沖擊波。由于該沖擊波的影響，燈自身產生振動，并且密封管4及觸發電極3也一起振動。

進而，觸發電極3與金屬箔33通過電阻焊接而接合，因此金屬箔33的焊接部分A變脆。

即，盡管金屬箔33的焊接部分A與原來的金屬箔的強度相比已處于劣化的狀態，仍然對其反復施加觸發電極3的膨脹/收縮應力及沖擊波的影響。結果，金屬箔33變成容易局部斷開的狀態(切斷部分)。

在這種狀態下，對觸發電極3施加高頻、高壓時，則在金屬箔33的切斷部分產生放電，因該放電導致觸發輸出下降，其結果，存在燈不發光的情況。

即，存在燈發光的情況和不發光的情況，存在燈的亮燈性很不穩定的問題。

進而，若在金屬箔33的斷開部分反復放電，則最終金屬箔33會完全斷開，燈完全無法亮燈。

發明內容

本發明即是為解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種閃光放電燈，可以對閃光放電燈施加足夠的觸發能量，從而使其切實地發光。

本發明的閃光放電燈，包括：發光管，在內部相對設有一對電極；棒狀觸發電極，在上述發光管的外表面沿長度方向延伸；以及密封管，覆蓋上述觸發電極，并且一端通過金屬箔形成密封結構，上述閃光放電燈的特征在于：上述觸發電極在上述金屬箔附近的表面上形成有凹部，在該凹部中流入構成密封管的材料。

進而，其特征在于：在上述凹部的表面上形成由高熔點金屬構成的覆蓋層。

進而，其特征在于：上述凹部形成在上述發光管內的對應的電極的前端位置的后方。

本發明的閃光放電燈的特征在于：在密封管的內部密閉保持觸發電極，在該觸發電極的表面形成有凹部，在該凹部中進入構成密封管的材料，例如石英玻璃。

因此，即使觸發電極膨脹/收縮，或在觸發電極上產生振動，也不會影響到與觸發電極連接的金屬箔。

即，消除了金屬箔斷開的問題，其結果，可以使燈切實地發光。