[發明專利]產生用于生成網屏掩膜的基本樣板的方法

無效

• 申請號: 200710096518.X
• 申請日: 2007-04-11
• 公開（公告）號: CN101286002A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 廖武杰;殷孟云
• 申請（專利權）人: 致伸科技股份有限公司
• 主分類號: G03F5/00
• 分類號: G03F5/00;G03F7/12;G03G15/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 郭曉東

1.?一種產生基本樣板的方法，其特征在于，該方法包括：

(a)調整測試樣板的網線數；

(b)以輸出裝置打印該測試樣板，產生第一測試打印結果；

(c)判斷該第一測試打印結果的灰度值是否符合第一特定灰度值；

(d)若否，則根據該第一測試打印結果調整步驟(a)中該網線數的設定，并重復步驟(b)及步驟(c)；以及

(e)若是，則選擇該測試樣板為第一基本樣板。

2.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(a)還包括：

設定該測試樣板的網線角度。

3.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

(f)調整該第一基本樣板的最小點排列形式；

(g)以該輸出裝置打印調整后的該第一基本樣板，產生第二打印結果；

(h)判斷該第二打印結果的灰度值是否符合第二特定灰度值；

(i)若否，則根據該第二打印結果調整步驟(f)中該最小點排列形式的設定，并重復步驟(g)及步驟(h)；以及

(i)若是，則選擇調整后的該第一基本樣板為第二基本樣板。

4.?根據權利要求3所述的方法，其特征在于，步驟(f)還包括：

調整該第一基本樣板的最小點叢聚尺寸、形狀或密度。

5.?根據權利要求4所述的方法，其特征在于，該第二特定灰度值根據該最小點叢聚密度決定。

6.?根據權利要求3所述的方法，其特征在于，該第二特定灰度值為該第一特定灰度值乘上特定比例。

7.?根據權利要求6所述的方法，其特征在于，該特定比例大致上等于1/2。

8.?根據權利要求3所述的方法，其特征在于，該第二特定灰度值為25％灰色的灰度值。

9.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該第一特定灰度值為50％灰色的灰度值。

10.?根據權利要求1所述的方法，還包括：

調整該第一基本樣板中的網線粗細，以產生第三基本樣板。

11.?根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該輸出裝置為激光打印機。

12.?一種產生基本樣板的方法，其特征在于，包括：

(a)調整測試樣板的最小點排列形式；

(b)以輸出裝置打印該測試樣板，產生打印結果；

(c)判斷該打印結果的灰度值是否符合特定灰度值；

(d)若否，則根據該打印結果調整步驟(a)中該最小點排列形式的設定，并重復步驟(b)及步驟(c)；以及

(e)若是，則選擇該測試樣板為基本樣板。

13.?根據權利要求12所述的方法，其特征在于，步驟(a)還包括：

調整該測試樣板的最小點叢聚尺寸、形狀或密度。

14.?根據權利要求13所述的方法，其特征在于，該特定灰度值根據該最小點叢聚密度決定。

15.?根據權利要求12所述的方法，其特征在于，該特定灰度值為25％灰色的灰度值。

16.?根據權利要求12所述的方法，其特征在于，該輸出裝置為激光打印機。