[發(fā)明專利]可分離式偵測視窗以及偵測系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710096016.7
• 申請日: 2007-04-10
• 公開（公告）號: CN101286441A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林南瑩
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)華電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 陶鳳波

1.一種可分離式偵測視窗，適于裝設(shè)在等離子體反應(yīng)室的側(cè)壁上，該可分離式偵測視窗包括：

底座，該底座具有第一結(jié)合部；以及

中空管件，該中空管件的一端具有第二結(jié)合部，

其中該底座與該中空管件通過該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部的連接而組合成該可分離式偵測視窗。

2.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該第一結(jié)合部為凹陷部，而該第二結(jié)合部為對應(yīng)的凸起部。

3.如權(quán)利要求2所述的可分離式偵測視窗，其中該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部的形狀包括圓形、橢圓形、矩形、鋸齒形、齒輪狀或多邊形。

4.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部分別設(shè)有螺紋槽。

5.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該第一結(jié)合部是由部分該底座向內(nèi)彎折所形成的凹陷部，而該第二結(jié)合部置入該第一結(jié)合部且旋轉(zhuǎn)一角度，會使該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部卡合。

6.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該底座的材質(zhì)為透明材料。

7.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該中空管件的材質(zhì)為透明材料。

8.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，其中該中空管件與該底座的材質(zhì)相同或不同。

9.如權(quán)利要求1所述的可分離式偵測視窗，還包括墊圈，設(shè)置于該中空管件與該底座之間。

10.一種偵測系統(tǒng)，適于應(yīng)用在設(shè)置有等離子體反應(yīng)室的機臺中，該偵測系統(tǒng)至少包括：

可分離式偵測視窗，設(shè)置在該等離子體反應(yīng)室的側(cè)壁上，該可分離式偵測視窗包括：

底座，該底座具有第一結(jié)合部；以及

中空管件，該中空管件的一端具有第二結(jié)合部，

其中該底座與該中空管件通過該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部的連接而組合成該可分離式偵測視窗；

偵測元件，配置于該等離子體反應(yīng)室外部；以及

光纖管，該光纖管的一端連接該可分離式偵測視窗，其另一端耦接該偵測元件。

11.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該第一結(jié)合部為凹陷部，而該第二結(jié)合部為對應(yīng)的凸起部。

12.如權(quán)利要求11所述的偵測系統(tǒng)，其中該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部的形狀包括圓形、橢圓形、矩形、鋸齒形、齒輪狀或多邊形。

13.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部分別設(shè)有螺紋槽。

14.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該第一結(jié)合部是由部分該底座向內(nèi)彎折所形成的凹陷部，而該第二結(jié)合部置入該第一結(jié)合部且旋轉(zhuǎn)一角度，會使該第一結(jié)合部與該第二結(jié)合部卡合。

15.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該底座的材質(zhì)為透明材料。

16.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該中空管件的材質(zhì)為透明材料。

17.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，其中該中空管件與該底座的材質(zhì)可相同或不同。

18.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，還包括墊圈，設(shè)置于該中空管件與該底座之間。

19.如權(quán)利要求10所述的偵測系統(tǒng)，還包括護板，設(shè)置于該等離子體反應(yīng)室側(cè)壁，且覆蓋該可分離式偵測視窗。