[發(fā)明專利]自動排水裝置及自動排水方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710094548.7
• 申請日: 2007-12-13
• 公開（公告）號: CN101457870A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉大軍;龔愛華
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F17D3/14
• 分類號: F17D3/14
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 董立閩;李 麗

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種自動排水裝置及自 動排水方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造過程中需要各種各樣的設(shè)備，且各個設(shè)備往往都具有 多個管路分別與各個氣路、排風(fēng)、排水系統(tǒng)相連。這就導(dǎo)致在半導(dǎo)體的 制造車間(Fabrication)內(nèi)，擁擠著多種復(fù)雜的管路，如何合理安置這些 管路是布置半導(dǎo)體制造車間的關(guān)鍵問題之一。

尤其是其中的部分管路內(nèi)部常會產(chǎn)生少量的冷凝水，如果在設(shè)計(jì)該 類管路時安排不合理，管路內(nèi)的冷凝水無法排出，一定時間后，將會造 成該管路不暢，影響生產(chǎn)的正常進(jìn)行。

為確保管路中的冷凝水排出，現(xiàn)有的一種解決方法是在進(jìn)行管路安 置時，在管路的最低端設(shè)置排水點(diǎn)(利用重力作用令管路中的冷凝水由 排水點(diǎn)流出)，但是，該種方法要求排水點(diǎn)位于最低端，對管路的設(shè)置要 求較高，對于包含眾多管路的制造車間而言，實(shí)現(xiàn)起來較為困難。

另一種解決方法是在管路上加裝機(jī)械泵，利用泵的壓力將管路內(nèi)存 在的冷凝水排出，但是，該種方法需要加裝置額外的機(jī)械泵等裝置(通 常還會需要配套地加裝感應(yīng)器、控制器等)，成本較高，所需的能源也較 大(能源轉(zhuǎn)換率較低)。

圖1為現(xiàn)有的自動排水裝置的示意圖，如圖1所示，排水閥主體102的 上端為其與管路相連的入口101，下端為其與管路相連的出口103，為了 實(shí)現(xiàn)自動排水控制，需要實(shí)時了解排水閥主體102內(nèi)的冷凝水量，在其上 安裝了感應(yīng)裝置111，該感應(yīng)裝置111可以通過感應(yīng)排水閥主體102內(nèi)的水 位或壓力信息而獲得排水閥主體102內(nèi)的水量信息，并將該感應(yīng)信息傳送 至控制裝置112內(nèi)。當(dāng)控制裝置112由該感應(yīng)信息判斷出需進(jìn)行排水時， 由其控制電磁閥113及機(jī)械泵114開啟，將排水閥主體102內(nèi)聚集的冷凝水 抽出。

在上述現(xiàn)有的自動排水裝置中，雖然因機(jī)械泵114的存在，可以允許 管路的末端位于更高的位置，提高了車間內(nèi)管路安排的靈活性，但是， 其的結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，需要加入的輔助裝置較多，成本較高；且其利用機(jī) 械泵排出冷凝水的轉(zhuǎn)換效率較低，通常8公斤的壓縮空氣才能轉(zhuǎn)換出5公 斤左右的壓力來排出冷凝水。

為簡化上述自動排水裝置，2005年5月25日授權(quán)的公告號為 CN2702081Y的中國專利中公開了一種純機(jī)械的自動排水裝置，其利用裝 有彈簧的逆止構(gòu)件，依靠罐內(nèi)空氣壓力的改變進(jìn)行排水，具有結(jié)構(gòu)簡單 的特點(diǎn)，但其的排水通道狹窄、排水量少，且排水動作頻繁，故障率較 高，并不實(shí)用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種自動排水裝置及自動排水方法，以改善現(xiàn)有自動排 水裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、能量轉(zhuǎn)換效率較低的現(xiàn)象。本發(fā)明不僅局限于半 導(dǎo)體制造領(lǐng)域，還可以應(yīng)用于其它領(lǐng)域，如機(jī)械加工領(lǐng)域等，以較好地 解決其所應(yīng)用的各設(shè)備的管路內(nèi)排出冷凝水的問題。

本發(fā)明提供的一種自動排水裝置，包括排水主體，其中，所述排水 主體開有第一進(jìn)氣口、第一進(jìn)水口和排水口，且該自動排水裝置還包括 與所述排水主體相連的水量感應(yīng)裝置，所述水量感應(yīng)裝置感應(yīng)所述排水 主體中的水量，當(dāng)水量未達(dá)到一定程度時，令所述排水主體的第一進(jìn)氣 口處于關(guān)閉狀態(tài)；當(dāng)水量達(dá)到一定程度時，令所述排水主體的第一進(jìn)氣 口處于開啟狀態(tài)，利用氣壓力將所述排水主體中的水由所述排水口中排 出。

可選地，所述水量感應(yīng)裝置包括位于所述排水主體內(nèi)的浮子，所述 浮子包括感應(yīng)所述排水主體內(nèi)水量且根據(jù)水量進(jìn)行運(yùn)動的浮子體，以及 在浮子體帶動下控制第一進(jìn)氣口與第一進(jìn)水口開啟或關(guān)閉的浮子頭。

可選地，所述自動排水裝置還具有與所述排水主體相連的排水塞； 所述排水塞還與浮子頭相連，隨著浮子頭的轉(zhuǎn)動分別開啟或關(guān)閉所述排 水主體的第一進(jìn)氣口與第一進(jìn)水口。

可選地，所述自動排水裝置還具有與所述排水主體相連的排水塞； 所述浮子頭由所述排水主體內(nèi)延伸至所述排水塞內(nèi)；

在所述排水塞內(nèi)、與浮子頭相接觸的區(qū)域的側(cè)壁內(nèi)開有縱向的開 槽；在所述浮子頭的外側(cè)壁上具有卡塊，卡置于所述排水塞上的開槽內(nèi)， 并可沿所述開槽移動，令所述排水塞隨著所述浮子的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動；

所述排水塞上還開有貫穿所述排水塞頂部與底部的通路，所述通路 隨著排水塞的轉(zhuǎn)動，分別與所述排水主體上的第一進(jìn)氣口與第一進(jìn)水口 相連通。

可選地，所述自動排水裝置還具有與所述排水主體相連的排水塞； 所述浮子頭由所述排水主體內(nèi)延伸至所述排水塞內(nèi)；